Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9353006 zu verkaufen
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ID: 9353006
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Strip chamber, 12"
ATC MM0011
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher ist eine hochmoderne Ätz-/Ascheausrüstung, die hervorragende Ergebnisse bei minimaler Bearbeitungszeit liefert. Sein einzigartiges Design umfasst eine Vakuumkammer mit einer digitalen Motorsteuerung für präzise und effiziente Operationen und eine Prozessüberwachungseinheit zur Einhaltung präziser Parameter. Die Maschine ist mit einem erweiterten programmierbaren Logikcontroller (SPS) ausgestattet, der jeden Schritt des Ätz-/Ascheprozesses überwacht und steuert und so hochpräzise Ätz-/Ascheergebnisse ermöglicht. TEL Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher verfügt über zahlreiche Funktionen, die es zu einer einzigartigen Wahl im Vergleich zu anderen Ätz-/Aschesystemen auf dem Markt machen. Erstens ermöglicht sein Prozessüberwachungswerkzeug die genaue Abschätzung der Zykluszeit, verhindert Überbearbeitung und Zerstörung von Wertstoffen. Zweitens ermöglicht die erweiterte SPS-Anlage die Optimierung des Ätz-/Ascheprozesses durch Erhöhung der Ätzgeschwindigkeit und Verringerung der Bruchwahrscheinlichkeit. Schließlich enthält dieses Modell eine Vielzahl von automatischen Programmierwerkzeugen, einschließlich programmbasierter und interaktiver Programmierung, sowie Echtzeitüberwachung und Bearbeitung von Ätz-/Ashing-Parametern. In Bezug auf die Leistung ist TOKYO ELECTRON Chamber für Tactras Vigus Etcher/Asher in der Lage, Substrate bis zu 12mm dick und 700mm Quadratgröße bei minimaler Verzerrung zu ätzen/zu aschen. Es kann Ätz-/Ascheaufträge mit einer bemerkenswert niedrigen Kitt-Zeit von 70 Sekunden und einer hohen Ätz-/Ascheauflösung von 10nm verarbeiten, was zu genauen und einheitlichen Ergebnissen führt. Darüber hinaus umfasst das Gerät eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie einen Not-Aus-Schalter, Überstromschutz und Trockenlaufschutz des Ventils. Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher ist ein leistungsfähiges Ätz-/Aschesystem, mit dem Anwender kostengünstig und zeiteffizient überlegene Ergebnisse erzielen können. Dank seiner zahlreichen Eigenschaften, der fortschrittlichen SPS-Einheit und der beeindruckenden Ätz-/Ascheleistung ist es eine hervorragende Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige und effiziente Ätz-/Aschemaschine suchen.
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