Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Trias #293650087 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for Trias ist ein Ätzer/Ascher mit einem dreistufigen Nassätzverfahren zur überlegenen Ätzgenauigkeit. Diese spezialisierte Ausrüstung ist in der Lage, kleine Merkmale auf dünnen Filmen schnell zu ätzen, mit minimalem Abfall und Beschädigung des Substrats. Es eignet sich gut für verschiedene Halbleiter-, MEM- und Nanogerätanwendungen, bei denen kritische Leistung und minimale Substratschäden erforderlich sind. TEL trias etcher/asher ist speziell entwickelt, um mehrere dünne Filme auf einmal zu verarbeiten, mit gleichzeitiger Plasmaätzung, Nassätzung und Nassreinigung - was TOKYO ELECTRON „predictive patterning“ nennt. Dieser Prozess stellt sicher, dass alle geätzten Funktionen gleichmäßig bezogen werden und konstante Breiten und Tiefen aufweisen. Darüber hinaus ermöglicht das patentierte dreistufige Verfahren, weniger kritische Merkmale zu überätzen, was zu Kosteneinsparungen und minimalem Abfall führt. Die Kammer selbst besteht aus zwei HF-Generatoren, die in eine ungeteilte Kammer mit einem Ätzfenster eingebaut sind, das zum selektiven Ätzen verschiedener Schichten einstellbar ist. Zur Bewegung der Wafer innerhalb der Prozesskammer wird ein doppelseitiges Wafer-Handling-System verwendet, das Verschmutzungen verhindert. Der Wafer wird zunächst mit einer Plasmaätzung in einer HF-Ätztechnik behandelt, dann in den Nassätzschritt und schließlich in die Nassreinigung überführt. Die Vorteile von TEL/TOKYO ELECTRON trias etcher/asher gehen über seine schnelle Prozessrate hinaus. Die Kammer minimiert die Defektivität und Schädigung des Substrats durch den schonenden Plasmaätzprozess. Zusätzlich kann die Kontaktzeit mit Ätzmitteln verkürzt und der Durchsatz mit der erreichten Prozeßwiederholbarkeit auf allen Substratgrößen maximiert werden. TEL trias etcher/asher ist speziell für die Verarbeitung von fortgeschrittenen Halbleitern, MEMs und Nanogeräten konzipiert und ist eine zuverlässige, einfache Verarbeitungsausrüstung für alle fortgeschrittenen Ätzanforderungen. Es ist die Fähigkeit, sich in einem einzigen Schritt zu bewegen, zu überätzen und zu reinigen, kombiniert mit seiner ausgezeichneten Wiederholbarkeit und Genauigkeit macht es zu einem wertvollen Vorteil in jedem Trockenätzprozess.