Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293607522 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON DRM ist eine Ätz-/Aschemaschine für die Halbleiter- und Photomaskenindustrie. Es ist ein leistungsfähiges automatisiertes System zum schnellen und präzisen Ätzen von großflächigen Substraten. Sie besteht aus einer Hauptprozesskammer und vier Teilkammern. Die Hauptkammer ist ein großes beheiztes Edelstahlgehäuse, ausgestattet mit einem beheizten Einlass und Auslass, Abgasanlage, Spülgasmaschine, Prozessgasquelle und Probentransportwerkzeug. Die Teilkammern dienen zur Versorgung verschiedener Prozessgase, darunter Fluor, Chlor, Wasserstoff, Stickstoff und Sauerstoff. Die Gase werden in ihren jeweiligen Teilkammern gespeichert und mit den erforderlichen Drücken und Temperaturen betrieben, um den gewünschten Prozess zu erreichen. Zur Evakuierung der Prozesskammer ist auch eine Vakuumpumpe vorgesehen. Das Probentransportgut besteht aus einem Roboterarm, der die Probensubstrate von der Hauptkammer zu den Teilkammern bewegt. Das Modell hat auch eine integrierte Plasmaquelle. Mit diesem Plasma wird die Kammer gereinigt und die zu ätzende Oberfläche reaktiven Ionen ausgesetzt. Das Plasma hilft auch bei der Steuerung des Ätzprozesses durch präzise Steuerung der Dichte und Art der vorhandenen Ionen. Dies ermöglicht eine sehr präzise Prozesssteuerung. Darüber hinaus wird eine Verriegelungseinrichtung verwendet, um sicherzustellen, dass die Kammer während des Ablaufs geschlossen bleibt. Das TEL DRM-System ist äußerst vielseitig einsetzbar und kann für eine Vielzahl von Ätzanwendungen eingesetzt werden, darunter das Ätzen von dünnen Folien, feinen Mustern und der Merkmalsbearbeitung. Es ist einfach einzurichten und zu bedienen und ist in der Lage, überlegene Ergebnisse mit minimalen Defekten zu liefern. Das Gerät ist zudem sehr energieeffizient und wirtschaftlich und in der Lage, qualitativ hochwertige Ätzungen in kurzer Zeit zu produzieren.