Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293616604 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON DRM ist eine Ätzmaschine, mit der Muster auf ein Substrat übertragen werden. Diese Maschine arbeitet durch Strahlen eines Siliziumwafers (oder eines anderen Materials) mit einem Strahl aus geladenen Partikeln, wie Ionen, um die gewünschten Muster auf der Waferoberfläche zu erzeugen. Diese Ionen halten Energie und wenn die Energie dieses Strahls ausreichend niedrig ist, verursachen die Ionen keine Beschädigung des Materials gleichzeitig. Diese Maschine ist auch als Photoresist-Ascher oder Trockenätzer bekannt, da ihr Ätzmechanismus Ionen anstelle von Chemikalien im Ätzprozess verwendet. Diese Methode des Ätzens ermöglicht ein viel schnelleres Ätzen mit weniger Schmutz (da keine flüssige Chemikalie verwendet wird) und kann Muster mit viel feineren Details erzeugen, als mit einer flüssigen Ätzung erreicht werden kann. TEL DRM nutzt einen plasmaunterstützten Ätzprozess für mehr Genauigkeit. Dabei wird ein Neutralgas (typischerweise ein Gemisch aus Helium und Sauerstoff) in die Kammer der Maschine eingeleitet und dann eine Hochspannung zwischen zwei Elektroden angelegt. Durch das elektrische Feld zwischen den beiden Elektroden wird das Gas aufgeladen und bildet ein Plasma. Die einzelnen Gasmoleküle im Plasma kollidieren mit der Oberfläche des Wafers unter Beibehaltung ihres Energiegitters, wodurch eine Beschädigung des Wafers vermieden wird. Der Ionenstrahl kann auf bestimmte Bereiche fokussiert werden und mit diesem Strahl speichert die Maschine eine Bibliothek von Millionen verschiedener Ätzmuster, die während des Ätzprozesses verwendet werden. Darüber hinaus kann die Maschine während des Ätzvorgangs mit einer externen Spannung gesteuert werden, die die Nettoenergie des Plasmas verändert und zusätzliche Steuerung und Genauigkeit für den Ätzvorgang liefern könnte. TOKYO ELECTRON DRM ist eine hochpräzise und zuverlässige Maschine, die extrem niedrige Linienbreiten und hochauflösende Muster erzeugt. Diese Maschine kann bei minimaler Wartung ein hochwertiges Endergebnis erzielen und auf einem breiten Materialspektrum eingesetzt werden. Es ist eine beliebte und effektive Wahl für Dünnschichtätzen in einer Vielzahl von Branchen.