Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641258 zu verkaufen
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ID: 293641258
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Diffusion furnace, 12"
Missing parts:
SCR Fan
Waves monitor
VEC Controller
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von Geräten auf Waferebene. Es verwendet Mehrkammer-, Mehrgas- und Mehrkassettenverarbeitung und ist in der Lage, Wafer mit 100mm und 150mm zu handhaben. Mit diesem Ätzer/Ascher ist der Herstellungsprozess auf Waferebene wesentlich schneller und effizienter als bei herkömmlichen Verfahren. TEL Formula-1-H Ätzer/Ascher ist mit einer Mehrkammerplattform ausgestattet, die sowohl Nass- als auch Trockenätzen ermöglicht. Sein Multigas-Feature ergänzt die Vielseitigkeit mit bis zu vier verarbeitbaren Gasen, was eine Reihe von Reaktionen ermöglicht. Dies ermöglicht sowohl Tiefätzen als auch Hartmaskenätzen sowie Kontaktätzen und anisotropes Ätzen. Die Multi-Kassette-Funktion ermöglicht eine kontrollierte Gasbefüllung, die Handhabungszeit entfällt und Turnarounds optimiert. Die Isolierung von Prozessgasen verbessert auch die Umweltsicherheit und kann die Belastung von Reinräumen reduzieren. TOKYO ELECTRON FORMULA 1H ist für die Herstellung von Geräten auf Waferebene sowohl für ein- als auch mehrschichtige Prozesse bei hohem Produktionsdurchsatz konzipiert. Es hat einen niedrigen Stromverbrauch Design, mit einem schnellen Wafer-Transfer-Roboter, der Prozesszeit reduzieren kann. Die Mehrkammerplattform ist auf Flexibilität und Skalierbarkeit ausgelegt und ermöglicht eine Vielzahl neuer Prozesse, die bei Bedarf weiter verfeinert werden können. Das System verfügt zudem über eine vergoldete Kammeroberfläche, wodurch die Wartungskosten gesenkt und eine sauberere Verarbeitung gewährleistet werden. TOKYO ELECTRON Formula-1-H enthält ein automatisches Reinigungssystem zur Vermeidung von Prozessverunreinigungen. Das System umfasst auch erweiterte Sicherheitsfunktionen, die eine optimale Bedienersicherheit gewährleisten. Formula-1-H Ätzer/Ascher ist ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und ermöglicht die Herstellung von Geräten auf Waferebene mit maximaler Effizienz.
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