Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641260 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H (F1-H) ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der verwendet wird, um Halbleiterscheiben schnell zu verarbeiten. Es ist in der Lage, Wafer bei Temperaturen bis zu 600 ° C zu ätzen und zu waschen und verfügt über eine duale Gasversorgungseinrichtung zur Unterstützung des Ätzens aller drei wichtigsten Halbleitermaterialien. Das F1-H ist zudem mit einem hochauflösenden Tischbild/-filter und digitalen Bildverarbeitungssystemen sowie fortschrittlichen Prozessleitsystemen ausgestattet. Das F1-H verfügt über eine verbesserte Konstruktion mit einer robusten Vakuumkammer auf Aluminiumbasis und ist in der Lage, das Ätzen und Aschen mit demselben Prozess und derselben Kammer durchzuführen. Dies ermöglicht die Herstellung enger Linienbreiten und Toleranzstufen für die Herstellung komplexer VLSI-Schaltungen. Darüber hinaus ist die Prozesssteuerung mit dem dedizierten Konsolenterminal des F1-H einfach einzurichten und zu warten. Das F1-H ist auch mit einem erweiterten Kammerkühlsystem ausgestattet, das die Kammertemperaturen während der Bearbeitung stabil hält und thermische Belastungen der Werkstücke eliminiert. Darüber hinaus ermöglicht die Gasfördereinheit des Geräts eine präzise Gasregelung von bis zu sechs unabhängigen Gaskanälen, die eine präzise Steuerung von Ätz- und Ascheparametern ermöglicht. Das F1-H verfügt auch über eine Wafer-Reinigungsmaschine, die so konfiguriert werden kann, dass schonende Reinigungsverfahren verwendet werden, um das Potenzial von schädigenden empfindlichen Wafern zu reduzieren. Das F1-H hat eine Prozesszeit von nur 30 Minuten, was in Verbindung mit seinen hervorragenden Ätz- und Aschefähigkeiten einen hohen Durchsatz und eine hohe Fertigungseffizienz ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht der programmierbare Controller des Geräts das Speichern und Abrufen von Prozessrezepten und ist mit mehreren SEMI-Standardsoftwareprogrammen kompatibel. Insgesamt ist das F1-H ein zuverlässiger, leistungsstarker Ätzer/Ascher, der für die Serienfertigung von mehrschichtigen Halbleiterbauelementen geeignet ist.