Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #9268382 zu verkaufen
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ID: 9268382
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Nitride furnace, 12"
Gas process: DCS-SiN and ALD High-K on LPCVD
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H ist ein Präzisionsätzer/Ascher, der bei der Herstellung mikroelektronischer Geräte verwendet wird. Es ist ein ultra-hochpräziser Ätzprozess, der branchenführende Ätzleistung kombiniert, zusammen mit reichlich Plasma- und Abgasfähigkeit, was zu hoher Gleichmäßigkeit und sehr geringen Ätzhöhen führt. Dies geschieht durch Verwendung eines planaren Magnetrons, das gleichmäßige Ätzhöhen ermöglicht, sowie eines proprietären Algorithmus zur Steuerung der Anodenspannung. Die gesamte Ätzvorrichtung soll die Partikelerzeugung minimieren und die Prozessqualität verbessern. TEL Formula-1-H nutzt fortschrittliche Bildgebungstechnologien, um einen hochpräzisen Prozess zu erreichen. Diese bildgebende Technologie erkennt Dünnschichtmuster und ätzt sie mit hoher Präzision und Genauigkeit. Neben Ätzmaterialien kann TOKYO ELECTRON FORMULA 1H zum reinen Ätzen sowie zum Ätzen und Plattieren mit hohem Seitenverhältnis verwendet werden. Damit eignet es sich für ein breites Anwendungsspektrum. Die durch TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA 1H erreichte Hochgeschwindigkeitsätzung basiert auf einer Kombination aus einem hochpräzisen Ätzverfahren und dem Einsatz der Plasma-anodischen Spannungseinstelltechnologie. Diese Hochgeschwindigkeitsätzung ermöglicht eine hochpräzise Ätzung in kurzer Zeit unter Vermeidung von Beschädigungen des Substratmaterials oder umgebender Bauteile. Hochgeschwindigkeitsätzen verbessert auch die Gleichmäßigkeit der Ätzhöhe und ermöglicht eine qualitativ hochwertige und präzise Veredelung. Der Ätzenprozess wird durch die automatische Mehrfrequenz in - situ Überwachung der Ausrüstung kontrolliert, die sehr stabile Ätzenprozesse und genaue Ätzenbedingungen bietet. Darüber hinaus stellt die automatische Konzentrationsregelung sicher, dass der Prozess korrekt und konsistent angepasst wird, um optimale Ätzbedingungen zu erhalten, was zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Schließlich sind alle diese Merkmale in einer einzigen Einheit für einen schlanken Produktionsprozess integriert. Darüber hinaus ist diese Maschine auch flexibel und einfach auf spezifische Anwendungen und Anforderungen zugeschnitten. Dadurch wird sichergestellt, dass Formula-1-H modernste Technologie mit einem hocheffizienten Produktionsprozess kombiniert.
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