Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293625497 zu verkaufen
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ID: 293625497
Weinlese: 2005
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist ein Einkammer-computergesteuerter Ätzer/Ascher. Es wurde entwickelt, um hochpräzise Ergebnisse beim Ätzen und Aschen von Prozessen in Mikro- und Halbleiteranwendungen zu liefern. Das Gerät ist mit mehreren Optionen und umfassenden Funktionen ausgestattet, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Prozesses zu gewährleisten. Hauptbestandteil von TEL Formula-1S-H ist die Ätz-/Aschingkammer. Es ist aus Edelstahl gefertigt und hat eine maximale Kapazität von 600 Litern. Innerhalb der Kammer wird ein Quellgas eingeleitet und eine Vakuumatmosphäre für einen präzisen Ätz- und Aschevorgang aufrechterhalten. Die Temperatur innerhalb der Kammer wird auch über einen präzisen elektronischen Temperaturregler geregelt. Die präzise Regelung der Temperatur gewährleistet präzise Ergebnisse sowie Wiederholbarkeit des Prozesses. Das System bietet auch mehrere optionale Zubehör, um den Prozess zu verbessern. Es kann mit einem Wasserkühler ausgestattet werden, um Kreuzkontaminationen zu verhindern und eine genaue Kontrolle des Prozesses zu gewährleisten. Zur besseren Auflösung kann der Einheit eine sekundäre Platte zur präzisen Ätzung bei höherer Auflösung hinzugefügt werden. Zum präzisen vertikalen Ätzen steht auch eine Überrollplatte zur Verfügung. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H hat mehrere Vorteile: es ist einfach zu bedienen und bietet präzise Ergebnisse; sie ist vielseitig einsetzbar, so dass unterschiedliche Parameter entsprechend den Anforderungen angepasst werden können; es ist kompatibel mit verschiedenen Ätz- und Ascheparametern, einschließlich hochdichtem Ätzen; und seine Sicherheitsmerkmale gewährleisten eine minimale Exposition gegenüber gefährlichen Gasen. Die Maschine ist einfach in bestehende Produktionslinie zu integrieren. Es kann an einen Computer angeschlossen werden, um Prozessdaten bereitzustellen, den Prozess zu überwachen und die Wiederholbarkeit der Ergebnisse sicherzustellen. Es kann auch in andere Systeme wie SEM, AFM und Wafer Stepper integriert werden, um die Prozesseffizienz weiter zu erhöhen. Insgesamt ist Formula-1S-H ein zuverlässiger und präziser Ätzer und Ascher. Seine hohe Leistung und eine Reihe von zusätzlichen Funktionen machen es die perfekte Wahl für verschiedene Mikrofabrikations- und Halbleiteranwendungen.
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