Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293647206 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine für manuelle und automatisierte Halbleiterproduktionsprozesse. Das System basiert auf einer offenen Architekturplattform, die maximale Flexibilität bei der Auswahl von Software, Materialien und Komponenten ermöglicht. Die Ätz-/Aschereinheit besteht aus einer Bearbeitungskammer, angetrieben von einem Hochgeschwindigkeits-Elektromagnetrührer und einer Kochplatte, mit der die Wafer vor der Bearbeitung vorgeheizt werden. Die Kammer ist in der Lage, Asche- und Ätzzyklen im Ultrahochvakuum (UHV) durchzuführen, und ist auch mit einer leistungsstarken Hochfrequenz-Plasmaquelle ausgestattet. Das Gerät verfügt über eine hocheffiziente Wafer-Be- und Entlademaschine mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Waferdurchmessern (von 2 „bis 6“) zu handhaben. Das Setup ermöglicht auch den manuellen oder automatisierten Betrieb, so dass es ideal für Produktionsbereitstellungen ist. Die Prozesssteuerung ist sehr fortschrittlich und ermöglicht detaillierte Parametereinstellungen, Überwachung und Dokumentation der einzelnen Verarbeitungsschritte. Dies sorgt für maximale Wiederholbarkeit und Produktqualität. Weitere Merkmale sind eine hohe Kapazität Bordgasversorgung, mit hoher Präzision Durchflussregelung für konsistente Ätz-/Ascheergebnisse. Das Tool kann auch mit einem Inline-Messtechnik-Tool und Echtzeit-Wafer-Reinigungsmittel integriert werden, für mehr Effizienz und integrierte Qualitätskontrolle. TEL Formula-1S-H etcher/asher wurde so konzipiert, dass es den Standards der Halbleiterindustrie entspricht, sichere und zuverlässige Ergebnisse liefert und eine ideale Wahl für automatisierungsgesteuerte Produktionsumgebungen darstellt. Das Modell ist einfach zu installieren und zu warten, mit minimalem Benutzereingriff und einer eingebauten Kalibriereinrichtung. Dies macht es ideal für moderne Halbleiterherstellungen.