Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293651983 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H Ätzer/Ascher ist für zuverlässige, durchsatzstarke Waferätzanwendungen konzipiert. Das Gerät verfügt über eine patentierte Drei-Zonen-Architektur mit Lastschloß und Transferkammer, einer Vorkammer und einer Ätzreaktionszone für effiziente Oxidations- und Ätzprozesse. TEL Formula-1S-H nutzt ein integriertes Softwaresystem zur automatisierten und wiederholbaren Prozesssteuerung und -überwachung. Das Gerät ist mit einer Hochvakuumform- und Reinigungskammer ausgestattet, die eine Hochvakuumumumgebung von 1x10-6 Torr bilden kann. Ein automatisierter Abkühlkrümmer sorgt für eine gleichmäßige und wiederholbare Kühlung des Substrats vor dem Ätzen. Eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Benutzer, Prozessbedingungen und Gasdurchflussraten schnell zu programmieren. Die Hauptkammer enthält eine Reaktionszone zum Probenätzen mit einem frequenzvariablen Hochfrequenzgenerator zur genauen Steuerung der Ätzleistung. Ein rotierender Hubarm erhöht die Stabilität der Maschine und ermöglicht ein variables und wiederholbares Ätzen. Die Kammer verfügt auch über ultra-hochauflösende Massenflussregler (MFCs) zur Freisprechprozesssteuerung und ermöglichten HF-Leistungsregelung über die Vorwärtsleistungseinstellungen in der elektronischen Steuereinheit (ECU). TOKYO ELECTRON Formula-1S-H Ätzer/Ascher enthält auch zusätzliche Funktionen wie verbesserte Mehrzonensteuerung, überlegene Ätzgleichmäßigkeit, einen Kassettenlader mit großer Kapazität, einen verbesserten Substratheizkrümmer und eine redoxbeständige, hochbelastbare Edelstahlkammer. Ein einzigartiges Federwaschwerkzeug reduziert die Prozesszeit weiter, während eine automatische Reinigungsanlage die Ätzrückstandsbildung reduziert und die Lebensdauer der internen Komponenten erhöht. Formula-1S-H Ätzer/Ascher nutzt eine Vielzahl von Sicherheitsoptionen, wie die Gasreinigung mit Stickstoff, rückseitige Abgasanlage und andere Interlocks. Zur Überwachung der Kammertemperatur ist ein fortschrittlicher Infrarot-Port vorgesehen, und ein umfassendes Überwachungs- und Prozesssteuerungsmodell sowie eine Echtzeit-Prozessdatenerfassung sind enthalten, um eine maximale Prozesssicherheit zu gewährleisten. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asher eine äußerst zuverlässige, effiziente Ausrüstung für Ätz- und Ascheanwendungen. Eine Reihe von erweiterten Funktionen sind enthalten, um konsistente Ergebnisse sowie zahlreiche Sicherheitsfunktionen zu gewährleisten. Dieses System eignet sich gut für mittel- bis hochvolumige Ätz- und Ascheanwendungen und wird durch den branchenführenden Service und Support von TEL unterstützt.