Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293653295 zu verkaufen

ID: 293653295
Weinlese: 2013
Diffusion furnace 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher mit einem benutzerfreundlichen Design. Das Gerät verfügt sowohl über obere als auch untere Ladekonfigurationen mit einem Ein- oder Zweileitungssystem. Die Ätz-/Ascher-Druckregelung wird durch einen zweistufigen Zweistationen-Druckregler aufrechterhalten. Die Single Line Unit kann bis zu fünf Rezepte gleichzeitig verarbeiten und die Dual Line kann bis zu 10 Rezepte gleichzeitig aufnehmen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen hochauflösenden X-Y-Z Roboter zum Be- und Entladen von Substraten sowie eine programmierbare Seitenwandwinkelsteuerung für präzise Ätz- und Ascheprozesse. TEL Formula-1S-H Ätzer/Ascher verwendet eine hybride Heizmethode mit HF- und direkten Heizwendeln, die eine gleichmäßige Temperatur im Patchbereich gewährleistet. Die Kammeratmosphäre wird über eine Turbo-Molekularpumpe gesteuert, was eine kontinuierliche Analyse und Wartung ermöglicht. Zur Überwachung des Prozesses ist ein Echtzeit-Interferometer sowie ein filterloses Entlüftungswerkzeug mit gekühltem Auspuff enthalten. Zum Asset gehört auch eine programmierbare Sicherheitsverriegelung mit einem Lockout-Frequenzbegrenzer zum Schutz des Modells und seiner Bediener. Eine komfortable Stromversorgung ermöglicht den direkten Anschluss an das Gerät mit einer Einpunkt-Elektronenstrahl-Stromquelle. Schließlich wird eine Infrarotheizung verwendet, um die Umgebungstemperatur auf die gewünschte Temperatur zu senken. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H Ätzer/Ascher ist eine zuverlässige und flexible Einheit, die genaue Ergebnisse für jede Ätz- oder Ascheanwendung erzielen kann. Sein benutzerfreundliches Design, integrierte Sicherheitsfunktionen und erweiterte Temperaturkontrollfunktionen machen es zu einer guten Wahl für jeden Ätz- und Aschebetrieb.
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