Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654963 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist ein Ätzer/Ascher für Anwendungen, bei denen ein schneller, präziser und feiner Ätzprozess erforderlich ist. Das Gerät verwendet eine Kombination aus einer Plasmaquelle, Ätzgas, kontrollierter Leistung und Hochfrequenz (HF) elektrischer Leistung, um ein perfektes Ätzprofil zu schaffen. Der Ätzprozess beginnt damit, ein sauberes und exakt planares Substrat zu gewährleisten. Dadurch wird sichergestellt, daß der Ätzprozeß zu gleichmäßigen Ätzergebnissen im Substrat führt. Anschließend wird das Ätzgas in die Systemkammer eingespritzt, die durch einen unabhängigen HF-Antennenabschnitt vom Substrat getrennt ist. Die Einheit wendet dann HF-Energie auf die Kammer an und erzeugt ein Plasma aus geladenen Partikeln und reaktiven Spezies, die mit dem Substrat interagieren. Die Ätzgeschwindigkeit wird dann durch eine Kombination von Parametern wie dem Ätzbereich, der Strömungsgeschwindigkeit des Ätzgases und der Leistungsintensität gesteuert. TEL Formula-1S-H ist mit einer Präzisions-Ätzkammer ausgestattet, die sich zum Ätzen von HAR-Strukturen eignet und gleichzeitig ein niedriges vertikales Erosionsprofil gewährleistet. Dadurch können auch komplizierteste dreidimensionale Strukturen mit hoher Genauigkeit definiert werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Funktionen, wie automatische Wafererkennung, ein bordeigenes Chemiemanagementwerkzeug, kondensierte Chemiewartung und eine unterstützte Verfahrensanleitung. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H hat einen hohen Durchsatz, so dass es qualitativ hochwertige Ätzergebnisse in einer relativ kurzen Prozesszeit zu produzieren. Die Anlage wurde auch als zuverlässig konzipiert, da sie Hochleistungs-HF-Feldern und extremen Temperaturen standhält. All diese Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für Ätzanwendungen, die schnelle und präzise Radierungen erfordern.