Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964 zu verkaufen

ID: 293654964
Weinlese: 2006
Diffusion furnace Control system Heater temperature: 600°C-900°C Load port FIMS Wafer transfer Boat elevator / Seal cap rotation Auto shutter Heater model N2 Load lock Boat operation Process: LPCVD Si SEMI STD-Notch, 12" Furnace temperature controller: M780 HTR Power box Carrier transfer Mechanical driver Exhaust box Front and rear upper cover Final valve box Gas flow chart O2 Analyzer Hard Disk Drive (HDD) Does not include HCT User interface: MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed Pressure display Unit: Mpa / Torr Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD Fork meterial: Al203 and PEEK W/T Type: 1+4 Edge grip 16-Carrier stage capacity Wafer notch aligner RCU UPS Power distribution system: 3-Phase connection type: Star connection Single-Phase connection: Grounded Single-Phase voltage Gas distribution system: FUJIKIN Integrated Gas System (IGS) IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa) Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist ein Ätzer/Asche, der sich auf präzise Mikrofabrikationsverfahren spezialisiert hat, die in der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es ist eine einzige Fertigungsplattform mit einem sehr vielseitigen Werkzeugsatz, der die Möglichkeit bietet, Back-End-of-Line (BEOL) -Schichten und fortgeschrittene Strukturen zu ätzen, zu reinigen und zu planarisieren. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie ein hohes Maß an Flexibilität bietet und gleichzeitig ein hohes Produktivitätsniveau ermöglicht. Das Gerät wird in der fortschrittlichen Mikroelektronik-Fertigung eingesetzt und ist in der Lage, eine breite Palette von Mikrostrukturen zu handhaben, von einfachen Schattenmasken bis hin zu hochdichten Geräten mit komplexen Strukturen. TEL Formula-1S-H ist in der Lage, bei hohem Durchsatz zu ätzen und zu reinigen und verfügt über eine Reihe von automatisierten Funktionen, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit gewährleisten. Es verfügt über ein integriertes Reinigungssystem, das sowohl nasse als auch trockene Prozesse für Back-End-of-Line-Schichten aufnehmen kann. Es verfügt über eine fortschrittliche CAD-Einheit für präzise Ausrichtung und Bewegungssteuerung. Die Maschine verfügt über eine ausgeklügelte Prozesssteuerungssoftware, die ein Echtzeit-Feedback und eine Anpassung der Parameter ermöglicht, um den Ertrag zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist für hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit ausgelegt. Die modulare Architektur und die benutzerfreundliche grafische Steuerungssoftware ermöglichen eine einfache Prozesseinrichtung. Es verfügt auch über eine sichere Schnittstelle, um sicheren Fernzugriff für Wartungs- und Programmierzwecke zu ermöglichen. Das Werkzeug ist auch mit einem programmierbaren Logikcontroller für den automatisierten Betrieb und verbesserten Geräteschutz ausgestattet. Die Anlage verfügt zudem über Sicherheitsmerkmale und Schutzmaßnahmen wie Temperatur- und Drucksensoren, Brand- und Gaserkennungssysteme sowie Prozessüberwachung. Das Modell verfügt über eine geometrische Tieftemperaturätzfähigkeit, die Restspannungen und Verzerrungen auf empfindlichen Substratstrukturen reduziert. Es verfügt auch über einen optimierten Abscheidungsprozess, der die Partikelverunreinigung reduziert, um höchste Leistung zu gewährleisten. Formula-1S-H ist darauf ausgelegt, die Standards der internationalen Halbleiterproduktionsindustrie zu erfüllen. Es ist eine branchenführende Ätz- und Ascheausrüstung, die vielseitig und zuverlässig ist. Es bietet hervorragende Leistung und beschleunigtes Wachstum der Mikrofabrikation. Das System ist einfach zu bedienen, flexibel und kostengünstig. Damit ist TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H eine ideale Wahl für die hochpräzisen Mikrofabrikationsanforderungen der modernen Halbleiterbauelementfertigung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor