Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964 zu verkaufen
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ID: 293654964
Weinlese: 2006
Diffusion furnace
Control system
Heater temperature: 600°C-900°C
Load port
FIMS
Wafer transfer
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
Heater model
N2 Load lock
Boat operation
Process: LPCVD
Si SEMI STD-Notch, 12"
Furnace temperature controller: M780
HTR
Power box
Carrier transfer
Mechanical driver
Exhaust box
Front and rear upper cover
Final valve box
Gas flow chart
O2 Analyzer
Hard Disk Drive (HDD)
Does not include HCT
User interface:
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel installed
Pressure display Unit: Mpa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Fork meterial: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
16-Carrier stage capacity
Wafer notch aligner
RCU
UPS
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Single-Phase voltage
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
IGS Final filter, regulator: MFC Z500 Type
MKS Capacitance manometer vacuum gage - press monitor (133 Kpa)
Power supply: 400 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist ein Ätzer/Asche, der sich auf präzise Mikrofabrikationsverfahren spezialisiert hat, die in der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es ist eine einzige Fertigungsplattform mit einem sehr vielseitigen Werkzeugsatz, der die Möglichkeit bietet, Back-End-of-Line (BEOL) -Schichten und fortgeschrittene Strukturen zu ätzen, zu reinigen und zu planarisieren. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie ein hohes Maß an Flexibilität bietet und gleichzeitig ein hohes Produktivitätsniveau ermöglicht. Das Gerät wird in der fortschrittlichen Mikroelektronik-Fertigung eingesetzt und ist in der Lage, eine breite Palette von Mikrostrukturen zu handhaben, von einfachen Schattenmasken bis hin zu hochdichten Geräten mit komplexen Strukturen. TEL Formula-1S-H ist in der Lage, bei hohem Durchsatz zu ätzen und zu reinigen und verfügt über eine Reihe von automatisierten Funktionen, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit gewährleisten. Es verfügt über ein integriertes Reinigungssystem, das sowohl nasse als auch trockene Prozesse für Back-End-of-Line-Schichten aufnehmen kann. Es verfügt über eine fortschrittliche CAD-Einheit für präzise Ausrichtung und Bewegungssteuerung. Die Maschine verfügt über eine ausgeklügelte Prozesssteuerungssoftware, die ein Echtzeit-Feedback und eine Anpassung der Parameter ermöglicht, um den Ertrag zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist für hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit ausgelegt. Die modulare Architektur und die benutzerfreundliche grafische Steuerungssoftware ermöglichen eine einfache Prozesseinrichtung. Es verfügt auch über eine sichere Schnittstelle, um sicheren Fernzugriff für Wartungs- und Programmierzwecke zu ermöglichen. Das Werkzeug ist auch mit einem programmierbaren Logikcontroller für den automatisierten Betrieb und verbesserten Geräteschutz ausgestattet. Die Anlage verfügt zudem über Sicherheitsmerkmale und Schutzmaßnahmen wie Temperatur- und Drucksensoren, Brand- und Gaserkennungssysteme sowie Prozessüberwachung. Das Modell verfügt über eine geometrische Tieftemperaturätzfähigkeit, die Restspannungen und Verzerrungen auf empfindlichen Substratstrukturen reduziert. Es verfügt auch über einen optimierten Abscheidungsprozess, der die Partikelverunreinigung reduziert, um höchste Leistung zu gewährleisten. Formula-1S-H ist darauf ausgelegt, die Standards der internationalen Halbleiterproduktionsindustrie zu erfüllen. Es ist eine branchenführende Ätz- und Ascheausrüstung, die vielseitig und zuverlässig ist. Es bietet hervorragende Leistung und beschleunigtes Wachstum der Mikrofabrikation. Das System ist einfach zu bedienen, flexibel und kostengünstig. Damit ist TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H eine ideale Wahl für die hochpräzisen Mikrofabrikationsanforderungen der modernen Halbleiterbauelementfertigung.
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