Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293744363 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die es Anwendern ermöglicht, Halbleitermaterialien für die Herstellung von integrierten Schaltungen, dünnen Filmen, mikroelektromechanischen Bauelementen und verwandten Produkten zu ätzen und zu aschen. Das System arbeitet durch einen Verdampfungs-/Kondensationsprozess, der der Oberfläche der Substrate entspricht. Es ist entworfen, um eine Vielzahl von verschiedenen Substrattypen und Materialien zu behandeln, einschließlich Siliziumscheiben, Glasrutschen, Metallsubstrate und exotische Halbleiterlegierungen. TEL Formula-1S-H verfügt über eine Vakuumkammer, die das evakuierende Gas abdichtet und dafür sorgt, dass die Umgebung auf einem Temperaturbereich zwischen -50 und + 150 ° C gehalten wird. Die Vakuumkammer verwendet eine eingebaute Heizung, die das Substratmaterial der Wahl erwärmt, bevor der Ätzprozess beginnt. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H verfügt über eine thermische Desorptionseinheit (TDU) als Hauptkomponente. Diese Einheit enthält sowohl eine Hochfrequenz-Ätzeinheit als auch eine Niederfrequenz-Ätzmaschine, mit der Benutzer je nach Anwendung spezifischere Materialien ätzen und aschen können. Die TDU verfügt auch über eine einstellbare Temperatur von bis zu 300 ° C für hochpräzise Radierungen von empfindlichen Substraten. Formula-1S-H verfügt auch über ein Post Etch Analyse-Tool. Dieses Gut verfolgt die Dicke des Substratmaterials beim Ätzen und gibt Rückmeldung über die Genauigkeit des Ätzes. Darüber hinaus kann sie Informationen über die Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses liefern. Schließlich verfügt TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H über einen tiefen UV-optischen Absorbermodus, der es Anwendern ermöglicht, die Homogenität des Substratmaterials auf atomarer Ebene zu messen. Dies sorgt für Genauigkeit und Sicherheit beim Ätzen und Aschen empfindlicher Materialien. Abschließend ist TEL Formula-1S-H ein fortschrittliches Ätz-/Aschermodell, das für eine Vielzahl verschiedener Substratmaterialien entwickelt wurde. Seine Eigenschaften, wie die TDU, PEA und tiefe optische UV-Absorberausrüstung, sorgen für Genauigkeit, Präzision und Gleichmäßigkeit beim Ätzen und Aschen empfindlicher Materialien.
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