Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293796682 zu verkaufen

ID: 293796682
Weinlese: 2016
Furnace Process: TEOS Gas flow chart Gases: Pure N2, 20% F2 / N2, HF, Q2 Power box Exhaust box WAVES Controller Rapid Cooling Unit (RCU) Pump diameter: 100 A CKD VEC-V8 Series Valve 2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H (oder F1S-H) ist ein chemischer Ätzer/Ascher, der Präzisionsätz-/Aschefunktionen für eine Vielzahl von Materialien bietet. Die kompakte Viergasanlage verfügt über zwei Ätzgasleitungen und zwei energiebedingte Gasleitungen. Das System ist hochautomatisiert und ermöglicht es dem Anwender, gewünschte Bedingungen für eine Vielzahl von Ätz-/Ashing-Aufgaben zu programmieren. Das F1S-H ist mit fortschrittlichen Funktionen wie einer hochauflösenden Heizung zur präzisen Temperaturregelung ausgestattet. Es verfügt auch über eine unabhängige Steuerung für alle vier Gasleitungen, so dass eine positive und Unterdruckanpassung möglich ist, um die Ätz-/Ascheeffizienz zu maximieren. Die Temperatur der Einheit wird durch ein Quarz-Verbundthermoelement überwacht. Die Temperatur kann in einem Bereich von 4- 600℃ entsprechend dem geätzten/ashten Material eingestellt werden. Das F1S-H verfügt außerdem über eine Mehrköpfe-Düsenmaschine mit austauschbaren Düsen im Bereich von 3 bis 55 Mikrometer mit minimalem Abstand zwischen jeder Düse. Auf diese Weise kann der Benutzer die Größe und Form des Ätzmusters nach Bedarf genau anpassen und so genauere Ergebnisse erzielen. Das F1S-H verfügt auch über ein fortschrittliches Folienhandhabungswerkzeug, das sich sowohl für Trocken- als auch für Nassfolien eignet. Die Anlage kann Filmtypen wie Indium-Zinn-Oxid, Gold und Aluminium behandeln. Die Foliensubstrate können bis zu 8 "breit mit einer Foliendicke von 3 - 15 µm verarbeitet werden. Für Sicherheitsmaßnahmen ist das F1S-H mit Kammer- und externen Abgasüberwachungsfunktionen ausgestattet. Dieses Modell ist so konzipiert, dass die Kammer automatisch abgeschaltet wird, wenn der Gasspiegel ein unsicheres Niveau erreicht. TEL Formula-1S-H ist die ideale Lösung für Ätz-/Ascheanwendungen mit Präzision und Effizienz. Seine erweiterten Funktionen und Funktionen machen es zu einer praktikablen Option für eine breite Palette von Ätz-/Veraschungsanforderungen. Mit seiner kompakten Bauweise und robusten Ausrüstung ist das F1S-H eine wirtschaftliche und zuverlässige Wahl für eine Vielzahl von Industrie-, Labor- und Forschungsanforderungen.
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