Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9253876 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K
ID: 9253876
Wafergröße: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K ist eine fortschrittliche Atomschicht-Abscheidung (ALD) Ausrüstung. Es handelt sich um einen Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen wie nanoskaligen Transistoren und High-K-Materialien entwickelt wurde. TEL Formula ALD High-K bietet eine hohe Prozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit sowie Skalierbarkeit und bietet gleichzeitig die kostengünstigste Struktur und ertragreichste Geräte. Die Zuverlässigkeit des Präzisionsprozesses, die Gleichmäßigkeit und die ertragreiche Herstellbarkeit ermöglichen eine hohe Serienproduktion und Skalierbarkeit. TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K verfügt über einen verbesserten Massendurchflussregler (MFCs) mit erhöhter Genauigkeit und bietet Anwendern einen sich sehr wiederholenden und zuverlässigen Prozess. Darüber hinaus bietet die Überwachung der Temperatur und Vermeidung von Wandablagerungen im Reaktor eine effiziente und einfache Rezeptsteuerung. Das System unterstützt auch große Ablagerungsbereiche, so dass Benutzer ihre Produktionskapazitäten erweitern können. Formula ALD High-K bietet hochmoderne Technologie, die für breite Anwendungsanforderungen wie Advanced Power Devices (APD), Ultra-High-K-Materialien und andere Anwendungen in der ULSI-Technologie entwickelt wurde. Einige der fortschrittlichsten Verfahren, die in TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K erhältlich sind, sind die Festphasen-Aluminiumoxid-Abscheidung und der Atomsauerstoff-Prozess für die Erzeugung von High-K-Materialien. Das Gerät unterstützt auch selbstkonfigurierbare Prozessparameter je nach Anwendung. TEL Formula ALD High-K ist mit einem innovativen TELCMIX Abgasmodul ausgestattet, das eine fortschrittliche mehrstufige Filtration bietet. Diese effiziente Abgasmaschine trägt dazu bei, die optimalen Bedingungen innerhalb der Verarbeitungskammer zu erhalten und die Partikelverschmutzung zu reduzieren. Das integrierte Gasüberwachungswerkzeug sorgt für Echtzeit-Gasfluss und Druckregelung und sorgt für Prozesswiederholbarkeit. Das Asset wird auch von der innovativen TraxRecipe Software von TEL unterstützt, die Benutzern hilft, mit Hilfe einer einfach zu bedienenden grafischen Benutzeroberfläche maßgeschneiderte Rezepte zu erstellen. TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K ist für Anwendungen konzipiert, die eine präzise Steuerung und Wiederholbarkeit erfordern, einschließlich High-K-Materialien und nanoskalierten Transistoren. Das Modell eignet sich für die Bereitstellung eines kostengünstigen, zuverlässigen und ertragsstarken Produkts mit seiner außergewöhnlichen Prozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. Diese Ausrüstung ist ideal für die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen und Komponenten.
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