Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620672 zu verkaufen
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ID: 293620672
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Deposition furnace, 12"
Process: SiN
Option: N28
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Load ports
Chamber
RCU
N2 Box
Power box
Refill system
BTBAS
Gas detector box
Floor box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist eine hochentwickelte Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die für eine präzise, effiziente und zuverlässige Halbleiterwaferbearbeitung entwickelt wurde. Seine innovative Technologie wird in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, von der Herstellung von Mikroelektronik-Geräten bis hin zur Entwicklung neuer Materialien. Im Kern besteht das TEL Formula System aus zwei Kernkomponenten. Die erste ist der integrierte Scanmikroprozessor (ISMP), der für die Steuerung der gesamten Einheit und die Bereitstellung von Substratverarbeitungsdaten und -rückmeldungen zuständig ist. Die zweite ist die plasmabasierte Ätzkammer (PEC), die die Ätz- und andere Prozesse im Zusammenhang mit der Bearbeitung eines Halbleiterwafers aufnimmt. Der PEC innerhalb der TOKYO ELECTRON Formula ist in der Lage, hochpräzise Ätzprozesse zu erzielen und eine hochwertige Wafer-Musterung mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen. Die Maschine ist in der Lage, verschiedene Materialien zu ätzen, darunter Metalle, Dielektrika und sogar Galliumnitrid (GaN). Das PEC verfügt zudem über ein eigenes integriertes Kühlwerkzeug, das präzise Ätztemperaturen sowie eine eigene Abfallentsorgung gewährleistet. Das ISMP von Formula ermöglicht dem Anwender die volle Kontrolle über den Ätzprozess und ermöglicht präzise und wiederholbare Ätzergebnisse auf einer Vielzahl von Materialien. Durch die Nutzung des fortschrittlichen Software-Algorithmus des ISMP ist das Modell in der Lage, Ätzstrategien zu formulieren und den Fortschritt jedes Ätzschritts zu überwachen. Dadurch ist der Anwender in der Lage, jeden Ätzprozess präzise zu steuern und die hochwertigste Wafer-Strukturierung herzustellen. TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist dank seiner integrierten Qualitätsmanagementausrüstung (iQM) hochgenau und zuverlässig. Dieses System führt ein In-Process-Qualitätsmanagement durch, das hilft, die gewünschten Leistungsstandards konsequent zu erfüllen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über verschiedene Sicherheitsschichten, die sicherstellen, dass alle Qualitätsdaten sicher erfasst, gespeichert und verarbeitet werden. Abschließend ist TEL Formula eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die für eine präzise, effiziente und zuverlässige Halbleiterwaferbearbeitung entwickelt wurde. Seine innovative Technologie, kombiniert mit seinen fortschrittlichen Qualitätsmanagementfunktionen, macht es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen und ist ideal für die detaillierte und genaue Strukturierung von Halbleiterscheiben.
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