Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9211539 zu verkaufen

ID: 9211539
Vertical diffusion furnace, 12" 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist eine Hochgeschwindigkeits-Ätzausrüstung für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet ein einzigartiges multidirektionales Ätzverfahren, um maximale Effizienz und Genauigkeit zu erreichen. Das System ist mit präzisen dreidimensionalen Steuerungen ausgestattet, um die besten Ätzeigenschaften für jede Anwendung zu bieten. TEL Formula ist auch entworfen, um eine Vielzahl von Prozesstechniken zu unterstützen, einschließlich Trocken- und Plasmaätzen. Der Trockenätzprozess umfasst einen Flüchtigkeitsstrahlentyp mit einer fortgeschrittenen Gasgemischabgabeeinheit. Diese Kombination sorgt für eine hohe Ätzgeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit bei der Dünnschichtabscheidung. Das Plasmaätzverfahren kombiniert ultrahohes Plasma mit einer hochauflösenden plasmonischen Struktur für überlegene Ätzproduktivität. TOKYO ELECTRON FORMULA verfügt außerdem über einen hochdichten Überschalldampfstrahl (SVJ) für erhöhte Ätzeffizienz und Plasmaselektivität. SVJ trägt zu einer höheren Ätzrate und geringeren Ätzkosten im Vergleich zu herkömmlichen Ätzprozessen bei. Zusätzlich ist die Maschine mit einem HF-Stromversorgungswerkzeug und verschiedenen Sensoren ausgestattet, um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten. Darüber hinaus wurde Formula entwickelt, um den Ätzprozess zu optimieren, indem Benutzer die besten Ätzparameter basierend auf der Anwendung auswählen können. Beispielsweise kann der Benutzer den Gasstrom, die Ätzgeschwindigkeit, die Ätztiefe, die Grabengröße und die Gaspulsbreite einstellen. Diese erweiterte Anpassungsfähigkeit stellt sicher, dass Benutzer Geräte höchster Qualität mit der höchsten Ätzrate produzieren können. TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist eine einzigartige Ätzlösung für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Die Kombination aus fortschrittlicher Steuerung und Anpassungsfunktionen sorgt für schnellere Ätzraten, höhere Genauigkeit und überlegene Produktivität. Es ist einfach einzurichten und zu bedienen, so dass auch diejenigen mit eingeschränkter Ätzerfahrung leicht das Beste aus dem Asset herausholen können.
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