Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9250263 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9250263
Wafergröße: 12"
SiGe-POLY furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEL/TEF) ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Diese spezialisierte Ausrüstung wird verwendet, um Muster auf einem Wafer als Teil der mehreren Schichten des Photolithographie-Prozesses zu ätzen und ist in der Herstellung von fortgeschrittenen Halbleiterbauelementen wesentlich geworden. TEL Formula hat einen modularen Aufbau, der es erlaubt, eine Vielzahl von Ätzschritten durchzuführen. Dazu gehören manuelle und automatisierte Handhabung von Substraten, Plasmaätzungen auf Waferebene, Auflösung von Submikromustern und Photobeschichtung auf Waferebene. Der fortschrittliche Ätzprozess, der den Durchsatz und die Präzision erhöht, kann komplexe Muster mit sehr geringen Schwankungen erzeugen. TOKYO ELECTRON Formula verwendet die Plasmaätztechnologie, um Muster auf der Waferoberfläche zu erzeugen. Während des Ätzprozesses erzeugt eine fortgeschrittene Plasmaquelle mit variablem Druck und Temperatur eine Plasmaumgebung, in der Ätzgase eine aktive Spezies in der Kammer erzeugen, um ein Plasma zu bilden. Die Plasmaumgebung wird dann in Kombination mit bestimmten Ätzgasen verwendet, um Material aus dem Wafer zu entfernen, um das gewünschte Muster zu bilden. Formel ist auch in der Lage Elektronenstrahl-Lithographie und maskenlose Photolithographie. Die Elektronenstrahllithographie nutzt einen Elektronenstrahl, um Muster präzise auf eine Waferoberfläche zu zeichnen. Maskenlose Photolithographie verwendet einen fortschrittlichen Laser, um Muster schnell mit einer Präzision zu ätzen, die viel größer ist als herkömmliche Lithographietechniken. TEL/TOKYO ELECTRON Formula bietet eine enorme Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die mit seinen fortschrittlichen Ätzfähigkeiten leicht erreicht werden kann. Darüber hinaus kann TEL Formula aufgrund seines modularen Aufbaus einfach angepasst und aktualisiert werden, um den sich entwickelnden Anforderungen moderner Halbleiterbauelementehersteller gerecht zu werden. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Formula ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Es verwendet eine Kombination aus Plasmaätzen, Elektronenstrahllithographie und maskenloser Photolithographie, um sehr präzise Muster auf einer Waferoberfläche zu ätzen. Sein modularer Aufbau ermöglicht Flexibilität und Verbesserungsfähigkeit, um es zur Go-to-Ätzlösung für Halbleiterhersteller zu machen.
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