Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9256202 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist ein Ätzer/Ascher, der für hohe Präzision und Automatisierung bei der Ausführung von Waferbearbeitungsaufgaben konzipiert ist. Die fortschrittlichen Merkmale von TEL Formula sorgen für einen wiederholbaren Prozess zur Erstellung hochwertiger Komponenten. Angetrieben wird die Plattform von einer mehrzonigen Vakuumkammer, einem Emitter und einem Isolierkanal, die präzise und einstellbare Bedingungen für Ätz- und Ascheanwendungen mit einer Vielzahl von Gasen bieten. Der Ätzer/Ascher ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser bei Temperaturen bis 800 ° C und mit einem Differenzdruck bis 5,7 Torrs zu handhaben. Es verwendet auch proprietäre Control Logic System (CLS) -Software, um die Wafer-Verarbeitungsumgebung genau zu steuern und Daten in Echtzeit zu überwachen. TOKYO ELECTRON Formula zeichnet sich durch hohe Produktivität und Foliengleichmäßigkeit bei geringer Wartung und Lieferung aus. Die Maschine ist mit einer vierstöckigen Architektur aufgebaut, die basierend auf den Anwendungs- und Prozessanforderungen des Kunden konfiguriert werden kann. Darüber hinaus kann Formula zwischen mehreren Prozessen wechseln, sodass Benutzer ihre Ätz- und Ashing-Anwendungen nach Bedarf anpassen können. TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA verfügt außerdem über eine Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI), die eine automatisierte Steuerung von Ätz- und Ascheparametern und eine Selbstdiagnose des Systemzustandes ermöglicht. Die TEL ETLINE-Serie ermöglicht das schnelle, kostengünstige Ätzen und Veraschen verschiedener Targets, darunter Metalle, Dielektrika, Polysilizium und Organik. Die Serie verfügt über eine hochfeste Quarzkammer für überlegene Prozesswiederholbarkeit und -stabilität sowie eine automatisierte Prozesssteuerung über eine integrierte Process Control System (PCS) Suite. Die ETLINE-Serie wurde speziell entwickelt, um eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Wiederholbarkeit, Reproduzierbarkeit, Durchsatz und Einheitlichkeit für alle Ätz- und Ascheprozesse zu gewährleisten. TEL Formula ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der einen konsistenten und wiederholbaren Prozess zur Erstellung hochwertiger Komponenten bietet. Die Plattform verfügt über fortschrittliche Funktionen und Technologien, um eine präzise Waferbearbeitung zu gewährleisten und gleichzeitig hohe Produktivität, Gleichmäßigkeit der Folien und niedrige Wartungskosten zu bieten. Die ETLINE-Serie wurde speziell für Ätz- und Ascheanwendungen entwickelt und bietet verbesserte Prozesswiederholbarkeit, Durchsatz und Gleichmäßigkeit. Alle diese Merkmale kombinieren, um TOKYO ELECTRON Formula eine ausgezeichnete Wahl für Benutzer zu machen, die genaue Ätz- und Ascheanwendungen benötigen.