Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263869 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9263869
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Nitride furnaces, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA stellt eine Reihe von Hochleistungs-Ätz- und Aschesystemen dar, die für die Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Diese Systeme wurden entwickelt, um ultrapräzise Funktionen zu schaffen und die strengen regulatorischen Anforderungen der Branche zu erfüllen. TEL Formula ist ein vielseitiges, robustes und zuverlässiges Werkzeug für Ätz- und Ascheanwendungen. Die Ausrüstung ermöglicht Präzisionsstufen von bis zu ± 0,001 "und bietet zuverlässige Leistung auch für die anspruchsvollsten Substrate. TOKYO ELECTRON Formula verwendet eine Reihe von Technologien, um optimale Prozessergebnisse zu erzielen. Wärmetauscher und Wellenrückflusstechnik sorgen für einheitliche Prozesstemperaturen und Wafertopographie. Das System ist mit einer plasmaquellengesteuerten Elektronenstrahlverdampfung ausgestattet, die hochkonsistente Heiz- und Ätzvorgänge ermöglicht. Die Elektron-Impact-Ionisation (EI) -Ionenquellentechnologie bietet die höchstmögliche Rate an Materialabtragung und -abscheidung. Formel bietet auch erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, einschließlich automatisiertes Kanalschalten, HF/DC-Leistungsregelung, Substrattemperaturregelung und prozessspezifische Rezepte. Das Gerät ist umfassend mit Datenerfassungs- und Überwachungsfunktionen ausgestattet und vereinfacht die Dokumentation und Analyse. Die Maschine ist auch auf mehrere Rezepte aufrüstbar und bietet noch mehr Flexibilität und Präzision. TEL/TOKYO ELECTRON Formula verwendet fortschrittliche Materialien und verfügt über fortschrittliche Funktionen, darunter eine erweiterte Temperaturregelung, geätzte Quarztiegel, einen HD-kompatiblen Controller, Software zur Steuerung von Gasfluss und -druck und ein Modell zur Druckprofilierung. Sein innovatives Design sorgt für einheitliche Prozessbedingungen, ausgezeichnete Prozessstabilität und effizienten Betrieb. Das Werkzeug ist vielseitig einsetzbar und bietet mehrere Ätz- und Aschelösungen für nahezu jedes Substrat und jede Anwendung. TEL Formula ist für Benutzerfreundlichkeit konzipiert, so dass es eine ideale Lösung für Labore oder Produktionsstätten, die die Ressourcen oder Personal für den Betrieb eines größeren Vermögenswertes fehlt. Der modulare Aufbau ermöglicht es Benutzern, ihre Fähigkeiten nach Bedarf anzupassen und zu erweitern. Das Modell ist auch einfach zu warten, mit geringer Wartung und null Ausfallzeiten erforderlich. TOKYO ELECTRON Formula ist IEEE 1149.6- und SECS II-konform und gewährleistet eine absolute Prozesskontrolle. Die Geräte werden mit optimierter Hardware und Software gebaut, um den Systemdurchsatz zu maximieren und hohe Prozesserträge und hohe Produktqualität zu gewährleisten. Die Kombination aus fortschrittlichen Prozessfähigkeiten, zuverlässiger Leistung und geringen Wartungsanforderungen machen Formula zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen.
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