Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263883 zu verkaufen
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ID: 9263883
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
LPCVD Furnaces, 12"
Process: ALD High-K
Mid temperature heater: VCM-50-012L
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Die Maschine wird durch Zusammenarbeit zwischen TEL Ltd und einer Vielzahl anderer Unternehmen entwickelt. Es verfügt über eine Hochleistungs-Multi-Loader-Ausrüstung sowie eine hochgradig anpassbare Benutzeroberfläche mit erweiterten Tracking- und Steuerungsoptionen. Der ASher (Advanced Sub-half Etcher) Teil des Systems bietet eine Ätzkammer mit bis zu 20 Quarzscheiben, die parallel bearbeitet werden können. Der Ätzvorgang beeinflusst die Temperatur der Wafer nicht, so dass die Ätz- und Ascheprozesse in derselben Kammer durchgeführt werden können. Die Ätzkammer bietet auch eine Endpunkterkennung zur präzisen Ätzsteuerung. Darüber hinaus ermöglichen programmierbare Prozesse in der Kammer eine weitere Anpassung an bestimmte Aufgaben. Die Maschine verfügt außerdem über eine fortschrittliche Gleiseinheit, die eine automatisierte Wafer-Verfolgung und -Steuerung ermöglicht. Dadurch kann der Anwender die Ätz- und Ascheprozesse problemlos überwachen. Diese Maschine ist auch sehr anpassbar und kann auf die Vorlieben des Benutzers abgestimmt werden. Das Track-Tool enthält auch Optionen für manuelle Manipulation und Wafer-Entfernung. Die Benutzeroberfläche von TEL Formula wurde als hochintuitiv konzipiert und bietet einfachen und einfachen Zugriff auf alle verfügbaren Ätz- und Ascheparameter. Außerdem können mehrere gleichzeitige Prozesse auf demselben Bildschirm angezeigt werden. Dadurch kann der Benutzer mehrere Chargen gleichzeitig überwachen und steuern. Die Maschine ist benutzerfreundlich und hochgradig anpassbar. Es wird für Forschungs- und Entwicklungszwecke sowie für seine Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit für die Herstellung von Wafern auf Produktionsebene empfohlen. Die fortschrittliche Benutzeroberfläche sowie das hochgradig anpassbare Track-Asset machen die Maschine sehr vielseitig und somit für jede Ätz- und Veraschungsanforderung geeignet.
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