Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9277488 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA ist ein Ätzer/Ascher (auch als Aschemaschine bekannt), der Plasma verwendet, um organische Substanzen von einem Substrat effektiv zu verdampfen und zu entfernen. Die Ätztechnologie von TEL Formula ist für Anwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert und bietet eine effiziente Gasausnutzung und eine überlegene Durchsatzleistung. Das System ist in der Lage, Substrate von bis zu 200mm Größe zu verarbeiten und nutzt eine Dual-Source-Konfiguration (Plasma und Ätzgas), um eine präzise Ätzsteuerung zu ermöglichen. Es verfügt auch über einen optimierten Prozessgasfluss, so dass der Benutzer stabile und reproduzierbare Ergebnisse erzielen kann. TOKYO ELECTRON Formula verfügt über zwei Arten von Plasmaquellen - RF und Cold Plasma. Die HF-Quelle nutzt eine breite Palette von Funkfrequenzen (RF), um das Plasma aufrechtzuerhalten, während die Cold Plasma-Quelle eine DC-Glühquelle verwendet, um das Gas zu aktivieren. Die Verwendung von zwei Plasmaquellen ermöglicht es dem Benutzer, verschiedene Arten von Materialien mit unterschiedlichen Ätzraten zu verarbeiten sowie ein stufenweises Ätzprofil einzuführen, das ein stabileres Ätzergebnis liefert. Das Gerät verfügt zudem über verschiedene Vakuumstufen von 10,3 Pa bis 100 Pa für effektive Substratreinigungs- und Ätzprozesse. Eine verbesserte WetDes-Technologie ist integriert, um trockene Partikeldefekte auf dem Substrat zu verhindern. Die Temperatur des Substrats kann auch vom Boden der Kammer aus gesteuert werden. Es hat ein dickes gepumptes Ölmerkmal, das eine stabile und gleichmäßige Temperatur bietet, um eine Überhitzung des Substrats zu verhindern, wodurch die Qualität des Ätzergebnisses erhöht wird. Die Formel verfügt zudem über eine integrierte Prozessüberwachungsmaschine, die es dem Anwender ermöglicht, Prozessdriften in Echtzeit zu beobachten und zu korrigieren. Es verfügt über Rezeptsteuerung, um Prozessparameter, Temperaturüberwachung, Ätzratensteuerung und Endpunkterkennung zu programmieren. Alle diese Funktionen helfen, einen schnellen, genauen und wiederholbaren Ätzprozess zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA ist ein ideales Ätzwerkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen wie kristallines Silizium, Polysilizium und Dünnschichttransistoren. Darüber hinaus ist es durch sein robustes Design und mehrere Plasmaquellen eine perfekte Plattform für fortschrittlichere Ätztechnologien. Es ist ein effektiver Ätzer für Hersteller und Forschungseinrichtungen, die für ihre Arbeit einen hohen Durchsatz und präzise Radierung benötigen.