Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287527 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9287527
Furnaces.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula (oder Ätzer/Ascher) ist eine industrielle, Massenproduktion, chemisch-mechanische Planarisierungsmaschine, die in Halbleiter- und anderen verwandten Industrien verwendet wird. Es ist eine robuste, zuverlässige Ausrüstung, die eine Planarisierung von fast jedem Material ermöglicht, einschließlich intermetallischer Barriereschichten, Dielektrika, mehrschichtige Metallverbindungen, transparente leitende Filme, Kohlenstoff-Nanoröhren und mehr. TEL Formula etcher/asher arbeitet mit chemisch-mechanischer Planarisierung, bei der sowohl chemische als auch physikalische Kräfte eingesetzt werden, um eine ebene Oberfläche zu erreichen. Dazu verwendet das System Hochgeschwindigkeits-chemische Reaktionen, die verdünnte Teile der Oberflächenschicht entfernen und zersetzen, um sie auszurichten. Chemisches Ätzen wird mit fortschrittlichen Poliertechniken gekoppelt, um sicherzustellen, dass eine saubere, polierte Oberfläche erreicht wird. TOKYO ELECTRON Formula etcher/asher ist eine vielseitige Einheit mit einer breiten Palette von Funktionen und Fähigkeiten. Es ist mit Robotersystemen und automatisierten Wartungsprozessen ausgestattet, so dass es mehrere Produktionslinien gleichzeitig betreiben kann. Die Maschine kann auch für Setups und Prozesse konfiguriert werden, die von Standard-Planarisierungsoperationen und routinemäßiger Prozessüberwachung bis hin zu den fortschrittlicheren Anwendungen reichen, die für eine höhere Präzision erforderlich sind. Darüber hinaus unterstützt Formula etcher/asher eine Vielzahl von Materialien und Ätzchemie. Mehrere Verfahren, wie CF und Ionenfräsen, können verwendet werden, um die Parameter und Chemien zu wählen, die benötigt werden, um optimale Profilergebnisse in verschiedenen Anwendungen zu erzielen. Auch für Anwendungen, bei denen eine zusätzliche Oberflächenmodifikation gewünscht ist, stehen Nachätzbehandlungen zur Verfügung. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Formula etcher/asher ein hochentwickeltes Werkzeug, das ideal für die Massenproduktion geeignet ist. Seine langlebige Konstruktion und seine fortschrittlichen Verarbeitungsmöglichkeiten machen es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, von der Oberflächenplanarisierung bis zur fortschrittlichen dielektrischen Abscheidung und Passivierung. Kombiniert mit seiner umfassenden Steuerung und Instrumentierung ist es eine ideale Maschine für Halbleiter- und verwandte Industrien.
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