Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300652 zu verkaufen

ID: 9300652
Wafergröße: 12"
Furnace, 12" Process: ALD High-K.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist eine Art Ätzer/Ascher, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Dieser Ätzer/Ascher ist ideal für Photolithographie- und Ätzanwendungen. Die Maschine kann verwendet werden, um eine Reihe von Materialien wie Aluminium, Silizium und Polysilizium zu ätzen. Es ist auch mit einer Naßätzkammer ausgestattet, die präzisere und sauberere Ätzergebnisse ermöglicht. TEL Formula ist mit einer Elektronenstrahlquelle sowie einer chemischen Dampfabscheidung oder CVD-Kammer ausgestattet. Die Elektronenstrahlquelle liefert einen Elektronenstrahl, mit dem Material zerlegt werden kann. Dies ist besonders nützlich, wenn empfindliche Muster aufgrund ihrer präzisen und zarten Natur geätzt werden. Die CVD-Kammer ermöglicht das Aufbringen von Materialien auf das Substrat der Wahl. Dies ist dann sinnvoll, wenn genaue Schichten zur Bildung eines Bauelements in der Halbleiterindustrie benötigt werden. TOKYO ELECTRON Formula wird von einem digitalen Steuergerät (DCS) gesteuert. Dieses System ermöglicht es den Betreibern, die erforderlichen Parameter einzuprogrammieren, um saubere Ätzergebnisse zu erzielen. Solche Parameter umfassen den Strahlstrompegel, die Strahlgröße, die Spannung, die Belichtungszeit, den Gasdruck, die Strömung und die Gaszusammensetzung. Es verfügt auch über eine optische Emissionsspektrometrie (OES), die die Überwachung der Kammerumgebung unterstützt, während ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) verwendet wird, um die Ätzergebnisse auszuwerten. Die Formel wird mit einer Reihe von Tests und Kontrollen in optimalem Arbeitszustand gehalten. Tests zur Überprüfung des Geräts umfassen Sichtprüfung, Spannungsmessungen, Einspritzprüfungen sowie Temperatur- und Vakuumprüfungen. Die Maschine wird dann kalibriert, um sicherzustellen, dass sie nach Fabrikspezifikation arbeitet. TEL/TOKYO ELECTRON Formula ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die genauen Ätz- und Abscheidefähigkeiten des Werkzeugs ermöglichen die Herstellung hochwertiger Geräte mit präzisen und sauberen Ergebnissen. Die fortschrittliche digitale Steuerung und das breite Spektrum an Tests und Prüfungen sorgen weiter für optimale Arbeitsbedingungen und konsistente Ergebnisse. Damit ist TEL Formula einer der zuverlässigsten und effizientesten Ätzer/Ascher.
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