Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P2 #9285736 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P2 ist eine hochpräzise Inline-Ätz-/Aschermaschine für verschiedene Waferbearbeitungsanforderungen. Unter Verwendung einer Niederdruckätzkammer ist das System in der Lage, großflächige Substrate mit hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit extrem gleichmäßig zu ätzen und zu veraschen. TEL HT-800-P2 Einheit integriert Hochleistungs-ECR-Plasmaquelle für das Ätzen und Aschen mit mehreren Abgasen Inertgas über integrierte Ventile in der gleichen Kammer. Die integrierte Trockenvakuumpumpe ermöglicht eine schnelle Abgabe chemischer Gase. Die Ätz-/Aschermaschine bietet einen genauen Prozess in einer Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Wafer-Rückseitenreinigung, Ätzen, Glühen und Folienreinigung. Das Werkzeug verfügt zudem über einen breiten Arbeitsdruckbereich von 10mT bis 1000mT, einschließlich ultralower Vakuum- und Niederdruckprozesse, was einen umfangreichen Ätz- und Ascheprozess ermöglicht. Die integrierte Hochleistungsquelle ermöglicht auch eine präzise Steuerung der Substratspannung, um eine hohe Ätzselektivität für präzises Ätzen auf verschiedenen Substrattypen zu ermöglichen. Die Anlage verfügt auch über eine präzise Hochleistungs-Substrat-Spannfutter für genaue und wiederholbare Wafer Positionierung und Entfernung. Neben seiner vielseitigen Prozessfähigkeit bietet TOKYO ELECTRON HT-800-P2 Modell auch fortschrittliche Sicherheitsvorkehrungen für optimale Sicherheit und Leistung. Die einheitliche Doppelzonensicherheit greift ineinander Ausrüstung entdeckt schnell Schuldenbedingungen und stellt die Plasmaquelle ab, wenn solcher Zustand, einschließlich während kühl werdender Operationen vorkommt. Das zuverlässige Schnelleinsatzsystem wurde entwickelt, um einen sicheren Betrieb in Notsituationen zu gewährleisten und das Gerät in optimalem Zustand zu halten. HT-800-P2 Ätzer-/Aschermaschine ist ein zuverlässiges und vielseitiges, ergebnisorientiertes Prozesswerkzeug für vielfältige Mikrofertigungsanforderungen. Die präzise Prozesssteuerung und das effiziente Sicherheitswerkzeug sorgen für optimale Leistung und höchste Zuverlässigkeit unter den anspruchsvollsten Bedingungen. Die Anlage ist zudem mit anderen Werkzeugen kompatibel, um ihre Prozessvielfalt und Kosteneffizienz weiter zu verbessern.