Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P4 #9285738 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P4
ID: 9285738
Dry etchers Substrate size: 680 mm x 880 mm.
TELEFON / ELEKTRON VON TOKIO HT-800-P4 ist ein High-End-Ätzen und ashing für die Halbleitergerätherstellungsindustrie entworfene Halbleiterverarbeitungsanlage. TEL HT-800-P4 wurde entwickelt, um durch die Verwendung fortschrittlicher digitaler Steuerungen Weltklasse-Präzision und Genauigkeit zu bieten. Das System verwendet eine Vakuumtechnologie, die auf „Hot-End“ - und „Cold-End“ -Pumpen basiert und schnelle und einfache Prozessänderungen ohne Verlust an Genauigkeit ermöglicht. Die „Hot-End“ -Pumpe ist in der Lage, das Ätzen und Aschen von bis zu 4X 4 Zoll Substraten in einem Zyklus feinabzustimmen. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON HT-800-P4 über eine proprietäre Sauerstoffdopingtechnologie zur verbesserten Präzisionskontrolle. Die Hardware-Steuerungsplattform des Geräts umfasst auch einen selbstanziehenden Spannfuttermechanismus für wiederholbare und genaue Verarbeitung. Das selbstanziehende Spannfutter sorgt für zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse, die insbesondere für Produktionsanwendungen unerlässlich sind. HT-800-P4 ist vielseitig einsetzbar und kann für eine Vielzahl von Substratgrößen, Materialien und Prozessen konfiguriert werden. Es ist in der Lage, bis zu 20 verschiedene Materialien zu ätzen und zu aschen, darunter Silizium, Glas, Kunststoffe und Metalle. Zusätzlich kann die Maschine Substrate bis zu einer Größe von 12 Zoll aufnehmen. TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P4 ist mit einer mehrzonigen Probenplatte ausgestattet, die eine konsistente Erwärmung und Kühlung gewährleistet. Die Platte hat sechs Temperaturzonen und jede Zone verfügt über eine unabhängige Temperaturregelung. Aufgrund seiner Eigenschaften können TEL HT-800-P4 Rezepte reproduzieren und Batch-to-Batch-Konsistenz liefern. Darüber hinaus verfügt es über mehrsprachige Steuerung, so dass Ingenieure ihre Verarbeitungsrezepte schnell und genau programmieren können. Dies gewährleistet eine maximale Konsistenz und Wiederholbarkeit des Ätz- und Ascheprozesses. Mit einer breiten Palette von Prozessfähigkeiten ist TOKYO ELECTRON HT-800-P4 ideal für den Einsatz bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Seine hohe Präzision und Reproduzierbarkeit, kombiniert mit seiner Benutzerfreundlichkeit, machen es zu einer Top-Wahl für Produktions- und Entwicklungsanwendungen. Darüber hinaus machen die vielseitigen Fähigkeiten des Tools es zu einer ausgezeichneten Wahl für Forschung und Entwicklung sowie.
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