Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-R4 #9285739 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-R4 ist eine hochpräzise Ätz-/Bearbeitungsmaschine mit hohem Durchsatz, die für den Einsatz in der großvolumigen Fertigung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Die Maschine verfügt über zwei Prozesskammern und einen Roboterarm zum Ätzen/Depositionieren und Wafer-Handling. Die Prozesskammern sind mit einer Vielzahl von Ätz-/Verarbeitungskammern ausgestattet, die jeweils über eigene einzigartige Fähigkeiten verfügen, darunter Elektronenstrahlverdampfung, Hochdichteplasmaätzen, Ionenimplantation, chemische Plasmaabscheidung und Sputtern. Der Roboterarm kann programmiert werden, um die Waferbewegung innerhalb der Prozesskammern zu handhaben, wodurch er für die großflächige Verarbeitung effizient ist. Die Maschine verfügt über einen variablen Durchsatz, so dass sie bis zu 50 Wafer pro Stunde verarbeiten kann. Es verwendet ein dreistufiges Monitorsystem, um die Temperatur und den Druck innerhalb der Prozesskammer sowie die Abscheide-/Ätzrate zu überwachen und so genaue und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt es über ein Lichtkühlsystem, das das eingespritzte Gas optimiert. Die Maschine wird mit einem Netzteil versorgt, das bis zu 500 Watt liefern kann. Darüber hinaus ist es entworfen, um die Software-Komplexität zu reduzieren, mit einer GUI-Benutzeroberfläche und erweiterten Programmanweisungen, die den Bedarf an Programmierung reduzieren. TEL HT-800-R4 etcher/asher ist für hochgenaue, hochdurchsatzreiche Prozesse konzipiert und bietet geringe Wartungskosten und minimale Ausfallzeiten. Seine robuste Gesamtkonstruktion macht es für eine breite Palette von Anwendungen in der Halbleiterherstellung geeignet, und seine Flexibilität macht es hervorragend für Serienproduktionen.