Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON HT910 #293621624 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON HT910 ist ein Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher für hochgenaues Ätzen und Aschen. TEL HT910 arbeitet an 200W zum Ätzen und bis 500W zum Aschen, mit einer Vakuumkammer von 48 Litern, wodurch größere Substrate bearbeitet werden können. Der Prozessgasmischer von TOKYO ELECTRON HT910 kann bis zu vier Gase in einem bestimmten Bereich präzise steuern, wodurch der Kauf mehrerer Einheiten entfällt. Auch die Einrichtung von HT910 ist einfach. Die Benutzeroberfläche ermöglicht die volle Kontrolle der Ätz- und Ascheprozesse, einschließlich Prozessparameter, Temperaturüberwachung und Atmosphärensteuerung. TEL/TOKYO ELECTRON HT910 ist mit einer Selbstreinigungsfunktion konzipiert, die den Reinigungsprozess automatisiert und die manuelle Reinigung überflüssig macht. Dieses Merkmal verbessert die Prozesssicherheit durch Verlängerung der Lebensdauer der Kammer und Beseitigung menschlicher Fehler im Zusammenhang mit der Reinigung. TEL HT910 verfügt außerdem über eine Ausrüstung zur Mitteldruckminderung, die niedrige Abgasreinheitsgrade erreicht, wodurch die Emissionsanforderungen des Clean Air Act erfüllt werden können. TOKYO ELECTRON HT910 verfügt über eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit beim Ätzen und Aschen. Das System verwendet parallele Lichtwellenstrahlung, um die Gleichmäßigkeit im Ätzprozess zu gewährleisten. HT910 ist auch in der Lage, Substrate unterschiedlicher Dicke mit ähnlichen Ergebnissen zu verarbeiten. Dies macht es ideal für industrielle Umgebungen. Im Hinblick auf die Sicherheit ist TEL/TOKYO ELECTRON HT910 mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter eine Gasspüleinheit, eine Abgashaube und eine geschlossene Gassensormaschine. Das geschlossene Gassensorwerkzeug erkennt schädliche Gase und aktiviert die Auspuffhaube zum zusätzlichen Schutz. Damit ist die Umwelt sowohl für die Anwender als auch für die zu bearbeitenden Substrate sicher. TEL HT910 Ätzer/Ascher ist für hochpräzises Ätzen und Aschen von Substraten ausgelegt. Es verfügt über eine hohe Durchsatzkapazität mit einer großen Vakuumkammer für größere Substratverarbeitung und eine selbstreinigende Funktion für eine verbesserte Prozesssicherheit. TOKYO ELECTRON HT910 bietet zudem hervorragende Wiederholbarkeit und zuverlässige Ergebnisse und bietet eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen.
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