Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293622226 zu verkaufen
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ID: 293622226
Weinlese: 2007
Vertical furnace
Exhaust box
Power box
Heater
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung, die in der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Dieses anspruchsvolle System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Materialien schnell, effektiv und mit minimalen Verunreinigungen zu ätzen. TEL Indy-A-L verfügt über einen dreistufigen Ätzprozess, einschließlich Plasma, reaktives Ionenätzen (RIE) und physikalische Dampfabscheidung (PVD). In der ersten Stufe wird das Material einem energiereichen Plasma ausgesetzt. Dadurch können Ionen in das Material eindringen, so dass ein mikroskopisches Muster in seine Oberfläche geätzt wird. Die zweite Stufe, RIE, ermöglicht es verschiedenen Gasen, mit dem Material zu interagieren, was zu einem komplizierteren Ätzen führt. In der dritten Stufe fügt das PVD vorbestimmten Bereichen Material hinzu, was eine höhere Kontrolle und Anpassung ermöglicht. Diese Vielseitigkeit macht TOKYO ELECTRON Indy-A-L für eine Reihe von Advanced Packaging und MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) Prozessen geeignet. Es hat eine sehr kleine Stellfläche - seine Größe beträgt nur 75 cm x 105 cm (Breite x Tiefe) - so kann es in eine ausgewiesene Fläche in jeder bestehenden Produktionslinie passen. Das Gerät hat auch eine Low-Thermal-Budget-Konstruktion, was bedeutet, dass seine Temperatur während des Betriebs niedrig gehalten wird. Indy-A-L verfügt auch über eine spezialisierte Edge Tollerance Control (ETC) Maschine, die genaues Ätzen an den Kanten von Teilen ermöglicht. Das Werkzeug ist außerdem mit einem Oberarm-Roboterarmschutz und einer Ionenstrahlquelle ausgestattet, die beide sicherstellen, dass der Prozess sicher durchgeführt wird. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L mit einer Vielzahl von Analysewerkzeugen kompatibel, darunter SEM (Rasterelektronenmikroskop) und XPS (Röntgenphotoelektronenspektroskopie). Dies ermöglicht eine einfache und genaue Messung der auf das Material geätzten Merkmale. Zusammenfassend ist TEL Indy-A-L ein anspruchsvolles Ätzinstrument mit einer Reihe von Funktionen, die es für den Einsatz in der Halbleitergeräteherstellung geeignet machen. Das vielseitige Design, der geringe Platzbedarf und die fortschrittlichen Analysewerkzeuge machen es zu einem wertvollen Werkzeug für Unternehmen, die qualitativ hochwertige Komponenten mit hoher Präzision herstellen möchten.
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