Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9394967 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L
ID: 9394967
Wafergröße: 12"
Diffusion furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L Ätzer ist ein automatisiertes, vollintegriertes Dünnschichtabscheide- und Ätzgerät. Es ist für die Herstellung von Halbleiterprodukten auf Siliziumbasis konzipiert. Das System bietet Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit während des Präzisionsätzprozesses. Es verfügt über niedrige Temperaturen und eine Vakuumumgebung, um die Qualität und Dichte der Ätzung zu verbessern. Das Gerät ist mit einem automatischen Spannfutter Druckregler gebaut, um sicherzustellen, dass jeder Ätzprozess bei der gewählten Substrat Temperatur und Druck geliefert wird. Es ist auch mit einer Membranpumpe ausgestattet, um sicherzustellen, dass das Vakuum während des Ätzvorgangs konstant ist. Dadurch wird die Integrität der Leiterplatten sichergestellt und die Benutzerfreundlichkeit verbessert. TEL Indy-A-L Ätzer verfügt auch über eine atmosphärische Druckregelmaschine, die hilft, die Rate der Ätzrate zu erhöhen und Gleichgewichtsdruck während des Ätzens zu halten. Dies hilft, die Chancen zu verringern, das Substrat oder die Ätzung während der Verarbeitung zu beschädigen. Der Ätzer verfügt ferner über eine aktive Driftkompensation, eine dynamische thermische Anpassung sowie eine intelligente Druck- und Geschwindigkeitsregelung, die alle zur Optimierung und Verbesserung der Präzision des Ätzprozesses beitragen. TOKYO ELECTRON Indy-A-L Ätzer ist mit einem innovativen Direct Imaging Selector (DIS) zur Auswahl des gewünschten Ätzmusters ausgestattet. Es ist auch für die Integration in Prozessleitsysteme wie TEL Industrial Solutions Manager (ISM) konzipiert. Dies hilft dabei, den Ätzprozess in Echtzeit zu überwachen und sicherzustellen, dass er dem gewünschten Ergebnis entspricht. Der Ätzer verfügt auch über eine Reihe optionaler Komponenten, wie eine Wafer-Handler-Einheit, Wetterdichtungen und einen HF-Dichter. Alle diese Komponenten tragen zur Flexibilität des Werkzeugs bei und ermöglichen die Verwendung für mehr Anwendungen. Abschließend ist Indy-A-L Ätzer eine vollständig integrierte Dünnschichtabscheidung und Ätzanlage mit ausgezeichneter Präzision, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Es ist mit innovativen Direct Imaging Selector (DIS) und atmosphärischen Druckregelsystemen ausgestattet, die eine erhöhte Genauigkeit und Effektivität im Ätzprozess ermöglichen. Optionale Komponenten sorgen für weitere Flexibilität und ermöglichen die Verwendung des Modells für ein breiteres Anwendungsspektrum.
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