Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9411635 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L ist ein Ätzer/Ascher zur Verarbeitung von Halbleitersubstraten. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. TEL Indy-A-L verfügt über einen RIE (reactive ion etch) Prozess, der in der Lage ist, Merkmale bis zu 0,3 μ m mit einer maximalen Ätzrate von 8.000nm/min zu ätzen. Dieses Ätzverfahren ist in der Lage, hochpräzise Ergebnisse zu liefern und hat die Fähigkeit, eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Galliumnitrid und sauerstoffdotiertes Silizium zu ätzen. Es verfügt auch über einen einzigartigen „schrägen“ Ätzmodus, der höhere Seitenverhältnisse ermöglicht. TOKYO ELECTRON Indy-A-L enthält auch einen an Bord erweiterten Scanner, der eine Autofokus-Ausrüstung und einen leistungsstarken Wafer-Backside-Monitor enthält. Dieser Monitor ermöglicht eine hochauflösende Abbildung der Waferoberfläche und Rückseite, wodurch eine präzise Ausrichtung des Ätzprozesses mit den gemusterten Schichten auf dem Substrat ermöglicht wird. Indy-A-L kann auch in verschiedene externe Inspektionssysteme integriert werden, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Prozesses weiter zu verbessern. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L verfügt über ein Hochstrom-Gasfördersystem mit einer beeindruckenden Flexibilität der Gassteuerung, die eine größere Auswahl an Ätzzyklen und Rezepten ermöglicht. Die Gasfördereinheit hat eine maximale Durchflussrate von 65 SCCM, so dass sie große Substrate schnell verarbeiten kann. Das Strahlvorwärtsmodul verhindert auch, dass Gas in die Kammer eindringt, indem es nach außen und von der Scheibe weg gedrückt wird. TEL Indy-A-L verfügt über eine robuste Benutzeroberfläche, die eine einfache Einstellung von Prozessparametern und Rezepturänderungen ermöglicht. Die Benutzeroberfläche bietet auch Echtzeit-Überwachung von Ätzparametern, sowie Rezeptspeicherung und Rückruf. Die integrierten Datenerfassungs- und Analysetools bieten die Rückverfolgbarkeit von Daten, während die integrierten SEM-Bilder (Rasterelektronenmikroskop) und CD-Diagramme (kritische Dimension) eine einfache Prozess- und Leistungsauswertung ermöglichen. TOKYO ELECTRON Indy-A-L ist eine fortschrittliche und sehr vielseitige Ätz-/Aschermaschine, die die Erstellung komplexer Muster mit feinen Details ermöglicht. Seine leistungsstarken und leicht einstellbaren Ätzfunktionen machen es für eine breite Palette von Anwendungen und Materialien geeignet, während seine funktionsreiche Benutzeroberfläche und Überwachungsfunktionen dafür sorgen, dass der Prozess gut verstanden und streng gesteuert wird.