Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591335 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A ist eine Hochleistungs-Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die den Anforderungen der modernsten Halbleitertechnologie-Anwendungen gerecht wird. Die anpassbare Plattform des Systems bietet eine Reihe von Prozessfähigkeiten, die hauptsächlich aus Trockenätzen, Trockenaschen und Nassreinigung bestehen. Es ist ideal für eine Reihe von Anwendungen einschließlich Zwischenätzen von Kupfermetallisierung, Backend der Linienverarbeitung, fortschrittliche Verpackung und andere. TEL Indy-A verwendet eine nachgeschaltete Ätzkonfiguration mit einer Hauptkammer, die klimatisiert ist, um konsistente Prozessbedingungen zu gewährleisten. Es ist mit einer Reihe von Energiequellenoptionen, einschließlich HF, DC und Impuls, die es ermöglicht, die Prozessanforderungen einer Vielzahl von Parametern zu erfüllen. Darüber hinaus bietet es ein hohes Maß an Flexibilität für Rezeptoptimierung und Prozessumsetzung. TOKYO ELECTRON INDY A ist mit einer Multi-Gas-Quelle ausgestattet, die von der Seite der Hauptkammer aus eingesetzt werden kann, und bietet benutzerdefinierte Gaszuführungsoptionen wie variable Strömung, mehrere entfernte Kapseln und vielfältige Auswahlen. Diese Kombination erzeugt einen hochauflösenden Ätzprozess mit konkurrenzloser Konsistenz und Wiederholbarkeit. TEL INDY A umfasst eine Reihe fortschrittlicher Prozessüberwachungs- und Sicherheitsmerkmale, um den Betrieb entlang eines optimierten Profils sicherzustellen. Dies beinhaltet eine fortgeschrittene invertierte Prozesskonfiguration, die es einem Beobachter ermöglicht, den Plasmaerzeugungsmechanismus schnell zu diagnostizieren und eine schnelle und genauere Diagnose aller Probleme anzubieten, die in der Ätzkammer auftreten könnten. Zusätzlich zeigt die Maschine einen modernsten Echtzeitsensorfeedbackkontrollmechanismus, das Bieten hochgenauer Überwachung dessen ätzt Kontrollparameter einschließlich ätzen Rate, Sauerstoffkonzentration und Temperatur. Indy-A bietet Automatisierungsoptionen, um ein größeres Maß an Flexibilität, Genauigkeit und Geschwindigkeit in der Produktfertigung zu gewährleisten. Das Werkzeug ist auch mit einer speziellen Reinigungsanlage ausgestattet, die eine hohe Oberflächenreinheit ermöglicht. INDY A ist ideal für die Serienproduktion und bietet Anwendern hervorragende Produktivität und Zuverlässigkeit.