Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591336 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A
ID: 293591336
Wafergröße: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A ist eine Ätzmaschine, die in der photolithographischen Stufe der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Insbesondere wird TEL Indy-A verwendet, um ein detailliertes Muster auf ein Substratmaterial zu übertragen, indem Teile der Oberfläche weggeätzt werden. TOKYO ELECTRON INDY A ist von TEL R&D Tokyo, einem renommierten Anbieter von Halbleiterverarbeitungsgeräten, zugänglich. Die Ätzausrüstung bietet eine effiziente, langfristige Produktionsfähigkeit in einem kleinen Formfaktor. Damit ist das System eine ideale Lösung für Halbleiterherstellungsgeschäfte mit begrenztem Platz. Das Gerät ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Substraten, darunter sechs Zoll, acht Zoll und zwölf Zoll Wafer. Diese Vielseitigkeit ermöglicht es, Anwendungen wie mehrstufige Verbindungen, Photomasken, MEMS und andere komplexe Mikrofabrikationsprozesse mit größerer Genauigkeit abzuschließen. TEL INDY A nutzt Dry Etch (DE) Techniken, die das Ätzen von komplizierteren Mustern ermöglichen. Dieses Verfahren verwendet Vorbehandlung mit chemischer Dampfabscheidung (CVD) und chemisch-mechanisches Polieren (CMP), um das Substrat vor dem Ätzen vorzubereiten und zu bilden. Diese Vorbehandlungs- und Nachätzverfahren verbessern die Haftung, Planarisierung und Oberflächengüte. Im Zentrum von Indy-A steht seine Fähigkeit, aufeinanderfolgende Schichten schnell und genau zu ätzen (zu schrubben). Der Ätzvorgang wird durch die Verwendung einer Vorspannung beschleunigt, um die Ätzgeschwindigkeit kontrolliert und wiederholbar zu maximieren. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Wafer jedes Mal mit einheitlichen und vorhersagbaren Merkmalen geätzt wird. INDY A wird auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie einem Gasversorgungsknopf, Tanklecksucher, Druckregler und Luftschlosssensor ausgestattet. Diese Eigenschaften sorgen dafür, dass alle Abwässer sicher enthalten sind, wodurch eine Kontamination minimiert wird. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A ist eine zuverlässige, hochwertige Ätzmaschine, die das Beste aus beiden Welten bietet: die modernste Technologie von heute sowie die Präzision und Wiederholbarkeit historischer Prozesse. Es ist das perfekte Werkzeug für jedes Halbleiterherstellungsunternehmen, das seine Produktionseffizienz erweitern möchte.
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