Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9214145 zu verkaufen

ID: 9214145
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Vertical LPCVD furnace, 12" Process: DCS Nit 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die präzise, effiziente und zuverlässige Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Der mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit arbeitende TEL Indy-A Ätzer ist ideal für den Einsatz in einer Vielzahl fortschrittlicher Produktionsanwendungen. Das hochmoderne Tool verfügt über fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie mit Ecke-zu-Ecke-Kantendefinition, Kanten-Verfolgungs- und Erkennungsfunktionen und einer Plasmaätztechnologie mit hohem Durchsatz. TOKYO ELECTRON INDY A ist mit einem automatisierten Lastschlossaustausch ausgestattet, was zu minimaler Verschmutzung und verbessertem Durchsatz führt. Darüber hinaus bietet sein niedriges kV-Prozessfenster schnelle Ätzraten sowie verbesserte epitaktische Schichtätzraten. Mit Hilfe eines Local Oxidation of Silicon (LOCOS) Prozesses kann TOKYO ELECTRON Indy-A eine dünne, gleichmäßige Isolationsschicht mit Selektivität ätzen, was bedeutet, dass nur die vorgesehene Fläche dem Ätzprozess ausgesetzt wird. Diese selektive Ätztechnologie ist wesentlich für die Herstellung einer hochgenauen, sehr präzisen elektronischen Schaltung. Der LOCOS-Prozess wird mit einer Reihe von Funktionen unterstützt, darunter fortschrittliche Oxidationssteuerungstechnologie (ACT), hochentwickelte Edge-Definition-Funktionen, Eckschutz und anpassbare Software-Rezepte. Mit dem Vorteil der fortschrittlichen Automatisierung hat INDY A die Fähigkeit, Wafer schnell und präzise zu ätzen und zu reinigen, mit einer beispiellosen Effizienz und Gleichmäßigkeit der Ergebnisse. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A ist extrem genau und gleichmäßig, mit einer Wiederholbarkeit von < 5% über die gesamte Waferoberfläche. Es bietet eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten, was zu überlegenen Ergebnissen führt. Indy-A verfügt auch über ein fortschrittliches Web-Charakterisierungssystem (WCS), das es Kunden ermöglicht, mehrere Verarbeitungsrezepte mit Leichtigkeit zu verwalten, was zu höheren Erträgen und verbesserter Prozesseffizienz führt. Darüber hinaus ist TEL INDY A mit fortschrittlichen Funktionen zur Prozessüberwachung, Steuerung und Rückmeldung ausgestattet, die die Daten in Echtzeit an die Benutzer rückgeben. Diese Informationen ermöglichen es den Betreibern, den Prozess in Echtzeit anzupassen und sicherzustellen, dass das Endprodukt den höchsten Qualitätsstandards entspricht.
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