Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9302270 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A ist eine Ätz-/Ascherausrüstung, die für hochzuverlässiges Präzisionsätzen und Aschen ausgelegt ist. Das System bietet eine komplette Ätz- und Aschefähigkeit für alle Arten von Substraten, einschließlich Metallen, Legierungen, Nichtmetallen und Siliziumwafern. TEL Indy-A wird von einer programmierbaren Steuerung (SPS) angesteuert, die optimale Ätz- und Ascheergebnisse gewährleistet. Es besteht aus mehreren Komponenten, darunter eine Ätzkammer, Ätzdüse, Duschkopf und Auspuffrohr. Die Ätzkammer von TOKYO ELECTRON INDY A soll eine gleichmäßige Ätzaktivität für die Substrate bewirken. Es ist mit einer Gasquelle ausgestattet, die eine breite Palette von Prozessgaskombinationen bereitstellen kann, einschließlich Stickstoff/Sauerstoff-Gemische zum Plasmaätzen. Weiterhin ist eine Hochspannungsquelle zur Erzeugung eines auf das gewünschte Niveau einstellbaren Plasmas eingebaut. Die Ätzdüse befindet sich zweckmäßigerweise an der Rückseite der Ätzkammer und sorgt für einen gleichmäßigen Hochdruckgasstrom zur Beschleunigung des Ätzvorgangs. Der Gasstrom ist mittels des Düsenwählers einstellbar und kann auf verschiedene Bereiche der Randwand der Ätzkammer gerichtet werden. Der Duschkopf von TEL/TOKYO ELECTRON INDY A ist ebenfalls auf der Ätzkammer eingebaut und soll für eine spezielle Beschichtung oder Reinigung sorgen. Die Ätzdüse und der Brausekopf werden zu einer gleichmäßigen Ätz- und Ascheaktivität kombiniert. Die Maschine weist ferner ein Abgasrohr auf, das mit der Oberseite der Ätzkammer verbunden ist, um giftige Dämpfe abzugeben. TOKYO ELECTRON Indy-A ist ein leistungsstarkes und zuverlässiges Ätz-/Ascherwerkzeug. Der programmierbare Logikcontroller (SPS) sorgt für einen präzisen Ätz- und Ascheprozess und beseitigt Fehler. Darüber hinaus wird es entwickelt, um qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse mit minimaler Zeit und Materialabfall zu liefern. Das Modell ist eine gute Wahl für das hochpräzise Ätzen und Aschen von verschiedenen Arten von Substraten.