Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9355273 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A ist eine Ascher/Ätzvorrichtung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es bietet hervorragende Plasmaätz- und Reinigungsfunktionen mit einem Tieftemperatur-Prozessfenster. TEL Indy-A System ist in zwei Modellen, die 300i und 500i, für die Verarbeitung von 300mm und 500mm Substraten. Beide Modelle verfügen über einen eingebetteten CCD- und X-Y-Scanner, der eine präzise Substratpositionierung für effizientes Ätzen ermöglicht. TOKYO ELECTRON INDY Eine Einheit verfügt auch über eine überlegene Implantationsfähigkeit zum Dotieren von Implantaten. Es weist einen Niederspannungsbetrieb zur Implantation von niederkonzentrierten Substraten auf. Die Maschine verfügt über einen unabhängigen Prozessarm, der in der Lage ist, Einzel- oder Multiwaferläufe zu verarbeiten, was eine optimale Effizienz von bis zu 18 + Wafern pro Stunde ermöglicht. TEL INDY Ein Werkzeug ist PECVD und ICP kompatibel und bietet überlegene Kammerreinheit. Es verwendet einen Touch-Sensing/Positioniermechanismus und das Chameleon 12 PECVD-Asset für Plasmaätzen, das sowohl Nieder- als auch Hochtemperaturprozesse ermöglicht. Das Modell ist für schnelles und genaues Ätzen von Wafern jeder Größe ausgelegt. Indy-A-Ausrüstung ist sehr vielseitig und ermöglicht Flexibilität und Anpassung. Es bietet „intelligente“ Funktionen zur Verbesserung der Systemleistung, wie thermische Überwachung, Web-Assist und Substratmapping. Das Gerät bietet auch Nieder- und Hochdruckoptionen sowie vakuum- und luftbasierte Betriebsarten. Die Maschine beinhaltet integrierte Software, die eine Echtzeit-Prozesssteuerung bietet. Das Tool umfasst auch Prozessentwicklungstools wie Rezept-Gebäude-Dienstprogramme und automatisierte Diagnosen. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A verfügt über einen kostengünstigen, vollautomatischen Betrieb, der für eine effiziente On-Demand-Produktion ausgelegt ist. Darüber hinaus ist INDY A RoHS-konform und soll die schädlichen Umweltauswirkungen der Halbleiterproduktion reduzieren. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Indy-A ein fortschrittliches Asher/Etcher-Asset, das eine präzise, automatisierte Verarbeitung von Einzel- und Multi-Wafer-Laufwerken mit überlegenen Prozessfähigkeiten bietet. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A zeichnet sich durch hohe Leistungsfähigkeit mit kostengünstigen, flexiblen Komponenten aus und wurde entwickelt, um Präzisionsätzen mit minimalen Umweltauswirkungen zu erreichen.