Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293634371 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist eine Ätz-/Aschemaschine, die entwickelt wurde, um die Ätz-/Aschebedürfnisse der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Es ist ein schnelles, kostengünstiges System, das eine präzise Steuerung der Ätztiefe, einen verbesserten Durchsatz und einen stabilen Betrieb ermöglicht. TEL INDY B L bietet eine Reihe von Funktionen, einschließlich programmierbarer Temperaturregelung, Gasflussregelung, Druckregelung sowie fünf vordefinierte Ätz-/Ascherezepte, die für verschiedene Wafergrößen und Geräteprozesse eingestellt werden können. TOKYO ELECTRON INDY B-L ist eine volle Kammereinheit, die sowohl elektrostatische Spannfutter (ESC) als auch gepulste DC-Plasma (PDP) Fähigkeiten nutzt. Der ESC wird verwendet, um den Wafer während Ätz-/Ascheprozessen zu halten, während das PDP eine zusätzliche Fähigkeit bietet, Prozessgase effizienter zu liefern. Die Maschine verfügt außerdem über einen internen Massendurchflussregler (MFC) und optionale externe MFCs, die eine präzise Ionenenergiesteuerung ermöglichen und helfen, Waferbrüche zu verhindern und eine ausgezeichnete Produktqualität zu erreichen. Das gestufte Duschkopfdesign von INDY B-L bietet eine gleichmäßige Reaktion in vertikaler Richtung. Es bietet auch die Flexibilität, eine Vielzahl von Ätz-/Ascherezepten zu verwenden, die für verschiedene Wafergrößen und Geräteprozesse programmiert werden können. Diese Rezepte können auch auf Druck, Temperatur und Gesamtdruck oder -bereich eingestellt werden. TEL Indy-B-L bietet zudem eine verbesserte Produktivität mit verbessertem Durchsatz, reduzierter Zykluszeit und erhöhter Waferausbeute. Indy-B-L bietet auch einen integrierten EGA/FIB-Port zur Wafer-Charakterisierung. Der doppelte EGA/FIB-Port ermöglicht eine Analyse des Reaktionsdrucks und der Temperaturbedingungen während des Ätz-/Ascheprozesses sowie eine Beurteilung sowohl der aktuellen Ätzgeschwindigkeit als auch der im Ätz-/Ascheprozess abgetragenen Materialmenge. INDY B L bietet auch zusätzliche Komponenten wie eine Verschmutzungs- und Abgasmaschine zur Verringerung von Partikeln und Gerüchen in der Luft sowie eine Spülgasplatte zum Schutz und Komprimieren der Plasmakammer. Weitere Merkmale sind eine integrierte EGA/FIB-Port-Verbindung, eine Bedienoberfläche mit menügesteuerter Rezeptsteuerung sowie Sicherheitsverriegelungen und Alarme, die Benutzer und Werkzeug schützen. Insgesamt bietet TEL INDY B-L präzises, kostengünstiges Ätzen/Aschen mit hervorragender Wiederholbarkeit, verbessertem Durchsatz und optimaler Prozesssteuerung und ist damit eine ideale Lösung für die Halbleiterindustrie.