Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637434 zu verkaufen
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ID: 293637434
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
With type: 1+4 Edge grip
With auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F Connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID Reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (Gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer/Ascher für die Halbleiter- und Verbundwerkstoffindustrie. Es ist eine fortschrittliche, zuverlässige und hochpräzise Ätz-/Ascheausrüstung, die zur Herstellung feinster Materialien verwendet wird. TEL INDY B L Ätzer verfügt über ein programmierbares Bühnensystem, das verschiedene Funktionen wie Vorreinigen, Entgasen, Aschen, Ätzen und Ätzen/Heilen ausführen kann. Die Vorreinigungsstufe dient dazu, Verunreinigungen aus dem Substrat zu entfernen, während die Entgasungsstufe unerwünschte Gasmoleküle entfernt. Der Aschevorgang entfernt Oberflächenatome, während der Ätzvorgang empfindliche und harte Schichten vom Substrat entfernt. Die Ätz-/Heilstufe dient zur Verringerung der Restspannungen auf dem Substrat. Der Ätzer nutzt die fortschrittliche KI-basierte Smart Cooling Unit (SCS), um optimale Temperaturen für präzises Ätzen zu erhalten. TOKYO ELECTRON INDY B-L bietet eine breite Palette von spezialisierten Ätzfähigkeiten, einschließlich Tiefätzen, Vereinheitlichung nach dem Ätzen und Tieftemperaturätzen. Die Maschine bietet auch eine präzise Oberflächenmodifizierung von Teilen bis zu 10 Nanometern und ist damit ideal für High-End-Anwendungen wie MEMs und LSI-Geräte. Der Ätzer ist auch vollautomatisch und kann über seine einfache Touch-Panel-Schnittstelle bedient werden. TOKYO ELECTRON INDY B L bietet auch umfassende Sicherheitsmerkmale, um den Schutz seiner Betreiber und der Umgebung zu gewährleisten. Es ist mit einem hochentwickelten integrierten Vakuumleckerkennungswerkzeug (VLDS) ausgestattet, um mögliche Lecks zu identifizieren. Es verfügt auch über eine standardisierte Gas Supply Asset (SGSS), wo Gase nur durch das Modell zugeführt werden, wenn die Sicherheitsbedingungen es erlauben. Schließlich spart die Innovative Eco-friendly Cooling Equipment (KIECS) Energie, indem sie den Gasverbrauch während der Betriebspausen automatisch reduziert. Insgesamt ist Indy-B-L ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher für High-End-Anwendungen in der Halbleiter- und Verbundwerkstoffindustrie. Es verfügt über erweiterte Funktionen wie SCS, VLDS, SGSS und KIECS und bietet Präzisionsätzen bis in den Nanometermaßstab. Seine Sicherheitsmerkmale sorgen für optimale Sicherheitsbedingungen und seine ausgeklügelte Touch-Panel-Schnittstelle machen es einfach zu bedienen.
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