Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637436 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Indoor-Wafer-Ätzer/Ascher, der dünne Oxidfilme auf Halbleiterscheiben erzeugt. Es ist eine Hochleistungs-, Mitteldurchsatz, Einkammer-Trockenätzanlage. Das System ist vollautomatisiert mit einer Bedieneroberfläche, die Anwendern eine benutzerfreundliche Prozesssteuerung und -optimierung bietet. TEL INDY B L ist in der Lage, sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse für eine Vielzahl von Anwendungen wie CoO, AlOx, ITO und andere durchzuführen. Innerhalb TOKYO ELECTRON INDY B-L gibt es eine 5-Schicht Quarzkammer, einstellbare Druckrohre und 4 unabhängig gesteuerte Strahl N2 Spülauslässe. Der Druck wird von den Komponenten im Steuerregal überwacht und gesteuert; ein Sensor sendet Messwerte sowohl außerhalb als auch innerhalb der Kammer. Die N2-Spülauslässe und der Parameteraufbau im Ätzer/Ascher ermöglichen eine präzise und vollständige Abgabe des Reaktionsgases für rückstandsfreie Wafer. TEL Indy-B-L hat eine maximale Kammergröße von 200 mm bis 8 Zoll mit der höchsten Temperaturverarbeitung von bis zu 400 ° C. Das ECR-Plasma mit hoher Dichte wird durch die Magnecreons erzeugt, die individuell eingestellt werden können, um hohe Qualitätsergebnisse bei geringem Lastniveau und hervorragenden Anpassungseigenschaften über die Drehachse zu erzielen. Das ECR-Quellplasma bietet eine verbesserte Gleichmäßigkeit beim aktiven Schichtätzen bei höherer Ätzrate und besserer Selektivität als herkömmliche Lichtbogenquellen. INDY B-L ist auch mit einem absorbierenden Filter ausgestattet, der automatisch die Farbe ändert, um den Verschmutzungsgrad anzuzeigen. Diese Funktion ist nützlich für die Aufrechterhaltung einer gleichbleibenden Qualität in Batch- und Einzelwaferprozessen. Das Absorptionsmittel absorbiert und sammelt Staubpartikel aus dem Ätz- oder Aschevorgang, wodurch verhindert wird, dass sie in die Maschine gelangen und die Wafer verunreinigen. Der programmierbare Wafer-Handling-Roboter und Transferarm im Lieferumfang von TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L ermöglicht die Batch- und Single-Wafer-Verarbeitung. Es bietet auch eine einfache, sichere Wafer-Handhabung für einen einzigen Bediener. Zusätzlich gibt es ein Wafer detektierendes Laserwerkzeug, das sicherstellt, dass der Roboter kalibriert bleibt und die optimale Position beim Übertragen und Ätzen der Wafer erreicht. TEL INDY B-L mit ECR-Plasmaquelle und präziser Ofeneinstellung sorgt für wiederholbares Ätzen/Verdrahten mit niedrigen Gleichförmigkeitsfehlern, ausgezeichneter Prozesssteuerung und geringen Wartungskosten. Es ist ein äußerst zuverlässiges Asset mit einfachen und intuitiven Bedienelementen und Warnfunktionen, ideal für Batch- und Single-Wafer-Verarbeitungsanwendungen.