Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637439 zu verkaufen
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ID: 293637439
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
W/T Type: 1+4 Edge grip
W/T Auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube Type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the Top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer (auch als Ascher bezeichnet), der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist eine Einzelwafer-Ausrüstung, die auf einer automatisierten Plattform aufgebaut ist und eine hohe Präzision bietet. Es verfügt über ein Be-/Entladesystem, das über 300 Wafer/Stunde handhaben kann, um eine schnelle und genaue Verarbeitung zu gewährleisten und gleichzeitig den höchsten Ertrag zu erhalten. TEL INDY B L ist mit einer robusten und zuverlässigen Einheit konzipiert, die ein extremes Maß an Produktivität und Genauigkeit für die anspruchsvollste Fertigung ermöglicht. TOKYO ELECTRON INDY B-L verfügt über einen Lastport mit direktem Antrieb, der Zykluszeiten minimiert und stabile Ätzbedingungen gewährleistet. Es verfügt auch über eine Wafer-Handhabungsmaschine, die sicherstellt, dass Wafer für eine sichere Übertragung auf Prozesswerkzeuge fest gesichert sind und eine Fehlausrichtung oder einen Bruch während der Handhabung verhindert. Das fortschrittliche Steuerungstool von TOKYO ELECTRON Indy-B-L und das umfassende Nachrichtenzentrum bieten Echtzeit-Einblicke in Ätzprozesse und sorgen für optimale Ergebnisse. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L hat eine fortschrittliche Open-Air-Technologie mit einer Vielzahl von Ätzrezepten. Dies ermöglicht eine gleichbleibende Leistung und Qualität auf jedem Wafer und ermöglicht es dem Ätzer, mit einer breiten Palette von Gasen und Medien zu ätzen. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L verfügt außerdem über ein integriertes prozessanalytisches Modul, mit dem die Prozessüberwachung in Echtzeit durchgeführt werden kann, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten und Überätzungen zu verhindern. Zusätzlich zu diesen Funktionen bietet TOKYO ELECTRON INDY B L eine breite Palette von kundenspezifischen Spezifikationen, die den Bedürfnissen des Kunden entsprechen. TEL Indy-B-L ist in einer Reihe von Größen und Designs erhältlich, kann für eine Vielzahl von Medien konfiguriert werden und bietet In-situ-Reinigungsfunktionen. Indy-B-L hat auch einen weiten Temperaturbereich, der präzise und gleichmäßige Prozesse ermöglicht. Insgesamt ist TEL INDY B-L ein Ätzer, der überlegene Leistung und Qualität bietet und gleichzeitig erhöhte Erträge und schnelle Zykluszeit bietet. Seine breite Palette an Funktionen und kundenspezifischen Konfigurationen machen es zu einer idealen Lösung für die Halbleiterherstellung.
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