Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637531 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 293637531
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Furnace, 12" 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die Maschine ist darauf ausgelegt, ein präzises Ätzen des Probenmaterials mit minimalen thermischen Effekten zu ermöglichen. Es verwendet einen hochpräzisen Ätzmechanismus, um Material von der Oberfläche der Probe zu entfernen. Der Ätzer hat eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit und ist somit ein ideales Werkzeug zum Entfernen dünner Filme von Halbleitersubstraten. TEL INDY B L ist in der Lage, verschiedene Ätztechniken zu verwenden, um eine Vielzahl von Anforderungen zu erfüllen. Das Gerät besteht aus zwei Ätzwerkzeugen, einem P.C.E.T (Plasma Chemical Etching Tool) und einem V.E.E.T (Vacuum Etching Etching Tool). Das P.C.E.T wird zum chemischen Ätzen verwendet und ist mit einem Plasmafunkengenerator zur präziseren Ätzsteuerung ausgestattet. Die V.E.E.T wird zum Vakuumätzen verwendet. Dieses Werkzeug ist mit einem einstellbaren Drucksystem ausgestattet, um den Druck innerhalb der Kammer genau zu steuern. TOKYO ELECTRON INDY B-L ist auch mit einer fortschrittlichen Überwachungseinheit ausgestattet. Diese Maschine überwacht kontinuierlich Ätzparameter wie Druck, Temperatur und Plattenspannung. Es enthält auch eine visuelle Anzeige, um ein Bild der Probe während des Ätzens zu erzeugen. Für zusätzliche Anzeigemöglichkeiten kann das Werkzeug an einen externen Monitor angeschlossen werden. Der Ätzer bietet eine Reihe von Funktionen und Flexibilität, um verschiedene Prozesse zu unterstützen. Es verfügt über einen Autoloader, um das Laden und Entladen von Proben durch den Benutzer zu ermöglichen. Es verfügt außerdem über eine Reihe von Prozessgasventilen und einen Probenvorbereitungslift, der ein einfaches Anheben der Proben in die Kammer ermöglicht. INDY B-L wurde entwickelt, um der Probe konsistente Ätzergebnisse mit minimalen thermischen Effekten zu liefern. Es verfügt über eine Temperaturkontrolle, um eine konstante Temperatur während des Ätzens aufrechtzuerhalten. Der Ätzer verfügt auch über automatische Zyklussensoren, die den Fortschritt eines Ätzzyklus überwachen und den Benutzer auf signifikante Änderungen der Ätzrate oder der Temperatur aufmerksam machen. TOKYO ELECTRON Indy-B-L gilt als zuverlässiges Produktionsgerät für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Seine Flexibilität und sein Leistungsspektrum ermöglichen es, die Anforderungen unterschiedlichster Prozesse zu erfüllen. Das fortschrittliche Überwachungsmodell sorgt für konsistente Ergebnisse und die automatischen Zyklussensoren warnen den Benutzer auf Änderungen der Ätzbedingungen. Seine Leistung und Zuverlässigkeit machen TEL INDY B-L zu einem idealen Werkzeug zum Ätzen komplizierter Merkmale auf Halbleiterbauelementen.
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