Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643318 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung für Anwendungen im Bereich der Halbleiterherstellung. TEL INDY B L wurde speziell für eine leistungsstarke und vielseitig einsetzbare Plattform entwickelt, mit der Anwender sowohl hohen Durchsatz als auch hohe Flexibilität erzielen können. TOKYO ELECTRON INDY B-L besteht aus einer horizontal montierten Plattform, die eine ganze Reihe von Komponenten enthält, darunter einen Auswärtsrevolver, ein Aschemodul, drei unabhängige Sauerstoff-, CF4 und C3F8 Quellen, zwei unabhängige Substratquellen, zwei unabhängige Seitenbreiten und eine einzige Temperaturkammer. Darüber hinaus enthält TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L auch einen HF-Stromgenerator und optionales schwebendes Substratfutter, mit dem Benutzer das System an ihre spezifischen Prozessanforderungen anpassen können. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L verwendet ein digitales Oszillatordesign, das eine präzise Frequenzregelung und schnelle digitale Abstimmung ermöglicht. Die Verwendung des Away-Revolvers ermöglicht eine schnellere und effizientere Maschineneinrichtung für jeden Prozess, wodurch die Prozessleistung des Benutzers optimiert wird. Die Qualität des Ätzprozesses kann durch die Nutzung der unabhängigen Sauerstoff-, CF4 und C3F8 Quellen sowie der doppelt unabhängigen Substratquellen weiter verbessert werden. Die dualen Substratquellen von TEL Indy-B-L ermöglichen die Verarbeitung sowohl von Low-K- als auch von High-K-Materialien mit derselben Einheit, wodurch für jeden Substrattyp kein spezieller Ätzer erforderlich ist. Die Qualität und Leistungsfähigkeit des Ätzprozesses kann auch durch den Einsatz der fortschrittlichen Temperaturregelung und des HF-Generators weiter verbessert werden. Die Temperaturkammer von TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist vakuumdicht und verfügt über eine fortschrittliche Plasma-Temperaturregelmaschine, die ein präzises Temperaturmanagement mit einer Vielzahl von Prozessanwendungen ermöglicht. Der integrierte Hochleistungs-HF-Generator von INDY B-L ist so konzipiert, dass er eine präzise Frequenzregelung und eine schnelle digitale Abstimmung ermöglicht und die Fähigkeit des Benutzers, die Plasmaparameter des Ätzprozesses zu steuern, erheblich verbessert. Abschließend ist TEL INDY B-L ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug, das für Anwendungen im Bereich der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. INDY B L wurde speziell für eine leistungsstarke und vielseitig einsetzbare Plattform entwickelt, mit der Anwender sowohl hohen Durchsatz als auch hohe Flexibilität erzielen können. Die umfangreiche Reihe von Komponenten, kombiniert mit dem digitalen Oszillatordesign, der fortschrittlichen Temperaturregelung und dem HF-Stromgenerator machen Indy-B-L zu einem idealen Ätz- und Veraschungsobjekt für Low-K- und High-K-Materialien.