Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643320 zu verkaufen
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ID: 293643320
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Load lock system
KAWASAKI W/T Robot
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer/Ascher, der entworfen ist, um eine Vielzahl von Oberflächenbehandlungsprozessen zu behandeln, die in einer breiten Palette von Halbleiterherstellung benötigt werden. Dieser hochspezifische Ätzer/Asher verfügt über eine Reihe von Funktionen, die schnellere Verarbeitungsgeschwindigkeiten und höhere Genauigkeit gewährleisten. Mit seiner einzigartigen peripheren Eindämmung hilft es, Prozessabfälle zu minimieren und Ausfallzeiten durch verstopfte Ätzdüsen oder andere prozessbedingte Probleme zu reduzieren. Dies hilft Anwendern, höhere Erträge zu erzielen, mit einem Maß an Zuverlässigkeit, das bisher nicht gesehen wurde. Es nimmt ein Niederdruck-Plasmasystem an, das Entgasungszeit eliminiert und eine höhere Ätzrate erreicht. Es unterstützt auch trockenes Ätzen, trockenes Band und feuchtes Band in einer Vielzahl von Prozessgasen und ist kompatibel mit halogenidbasierten Ätz- und Plasmastreifenprozessen. Der Ätzer/Ascher verfügt über einen temperaturgesteuerten Substrathalter, der für gleichmäßige Ätzbedingungen sorgt. Dadurch wird ein thermischer Schock verhindert und die Prozessstabilität verbessert. Es verfügt auch über einen hochpräzisen Übertragungsarm, der die Ausfallzeit der Einheit reduziert und es ermöglicht, Substrate präzise auf- und abzunehmen, während sichere Prozessbedingungen beibehalten und die Lade-/Entladezeit des Substrats verkürzt wird. TELEFON INDY B L zeigt auch einen RF-driven, Wohnungstafelnplasma Radiofrequenzkontrollmaschine, die hilft zu sichern, Konzentrizität und Gleichförmigkeit insgesamt ätzen Prozesse. Dies hilft, Verarbeitungszeit und Substratverzerrung zu reduzieren. Schließlich ist dieser Ätzer/Ascher mit einem leistungsstarken Reinigungswerkzeug und einer Qualitätssicherung ausgestattet, um sicherzustellen, dass verarbeitete Substrate den höchsten Standards entsprechen. Die elektronische Steuerung des Modells gewährleistet die vollständige Prozessreproduzierbarkeit und ist damit das ideale Werkzeug, um eine qualitativ hochwertige Verarbeitung für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen zu gewährleisten.
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