Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643336 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L (Induction Etcher/Asher) ist eine hochpräzise Vakuum-Prozessmaschine, die von TEL speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Dieser Ätzer/Ascher ist darauf ausgelegt, vertikale Ätzergebnisse mit ausgezeichneter Prozessgleichförmigkeit, geringer Partikelerzeugung und hochpräziser Ätzung zu erzielen. TEL INDY B L erleichtert das Tiefätzen extrem kleiner Strukturen und bietet eine hervorragende Profilkontrolle für Strukturen mit hohem Seitenverhältnis. TOKYO ELECTRON INDY B-L bietet drei Arten der Ätzung: Anisotropic Induction Etching (AIE), Isotropic Induction Etching (IIE) und Tetrahedral Etching (TE). AIE bietet hochdirektionale (stark anisotrope) Ätzungen, die gut geeignet sind, steile Seitenwandfunktionen zu bilden, während IIE und TE verwendet werden können, um sanft geneigte Profile zu erzeugen. Darüber hinaus kann der TE-Prozess angepasst werden, um eine präzise Ätzsteuerung zu ermöglichen, um präzise dreidimensionale Strukturen mit sehr präziser Ätzgenauigkeit herzustellen. TEL Indy-B-L ist mit einer Mehrkammerumgebung ausgestattet und kann sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse an derselben Maschine durchführen. Die Ätzkammer nutzt eine Niederdruck-Mikrowellen betriebene induktive Spule und soll eine versehentliche Ionisation von Material während der Verarbeitung verhindern. Die Aschekammer verwendet ein reaktives Gas, um eine schnellere Ätzgleichmäßigkeit und höhere Durchsätze zu ermöglichen. INDY B L verfügt auch über eine erweiterte Ätz-/Verarbeitungs-Steuereinrichtung, die eine GUI-basierte Benutzeroberfläche verwendet, die mit einem proprietären industriellen Computersystem gekoppelt ist. Dieses Gerät ermöglicht eine präzise und genaue Steuerung der Ätzergebnisse durch die intuitive menügesteuerte Umgebung. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Vielzahl von Diagnose-, Prozessverlaufs-, Datenübertragungs- und Einstellungsvorlagen für hocheffizientes und zuverlässiges Ätzen/Verarbeiten von qualitativ hochwertigen Ergebnissen. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L ein fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug, das für die anspruchsvollsten Halbleiterprozesse entwickelt wurde. Die Maschine bietet ausgezeichnete Ätzgleichförmigkeit, Partikelkontrolle und Profilsteuerung und wird durch eine leistungsstarke Kontrollressource unterstützt. INDY B-L ist einzigartig ausgestattet, um kleine Strukturen genau und präzise zu ätzen, und kann für eine breite Palette von verschiedenen Ätz- und Verarbeitungszwecken verwendet werden.