Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293809898 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293809898
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Vertical furnace, 12"
Process: D-Poly
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiter- und integrierten Schaltungsbauelementen. Es ist eine sehr vielseitige, integrierte, schnelle Reaktionsausrüstung, ideal für eine breite Palette von Anwendungen wie flache Graben Isolation (STI), hohe Seitenverhältnisse Metallätzen, flache Graben Metallstreifen und flache Graben Isolation (STI) und tiefe Graben Isolation (DTI). TEL INDY B L nutzt modernste Technologien in der Halbleiterherstellung. Es verfügt über ein TEL-proprietäres Cleanliness Control System (CST) für kontrollierte geätzte Folien mit weniger Defekten und eine robuste Sample Transfer Unit (RST) mit einem innovativen Mustertransportkonzept, das einen hohen Durchsatz ermöglicht. TOKYO ELECTRON INDY B-L kann verschiedene Quellmaterialien aufnehmen, und seine Etch und Asher Abschnitte bieten eine breite Palette von Flexibilität und Genauigkeit. INDY B L kann verwendet werden, um flachen Grabenmetallstreifen für vergrabene Kontaktgeräte und Musterdrähte, flache Grabenisolierung für Kontakt- und Interlevel-Metallisierung und tiefe Grabenisolierung für die Geräteisolierung zu ätzen. Der Ätzprozess ist sehr anpassbar, mit wählbaren Ätzzeiten, Temperaturen, Drücken und Gasdurchflussraten. Es beinhaltet auch programmierbare Plasmasteuerungsfunktionen zur effizienten Verarbeitung verschiedener Folien. In seinem Asher-Abschnitt verfügt TEL INDY B-L über eine integrierte Kühlmaschine und eine veränderbare Flächendüse zur gleichmäßigen Verteilung von Reaktanden entlang der Waferoberfläche und eine integrierte Flutpistole, die einen einheitlichen Film auf der Waferoberfläche ablagert, um eine erneute Ablagerung zu verhindern. Der Asher-Bereich verfügt zudem über eine Touchscreen-Schnittstelle, die eine einfache Einrichtung und Bedienung der Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Abschließend ist TEL Indy-B-L Ätzer/Ascher ein integriertes, leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung von Halbleiter- und integrierten Schaltungsbauelementen. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Technologien für kontrollierte Ätzfolien und eine benutzerfreundliche Oberfläche für einfaches Einrichten und Bedienen. Seine hochgradig anpassbaren Ätz- und Ascheprozesse machen es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterherstellung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor