Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293810872 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein hochpräziser Ätzer oder Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses Nassätzprozesswerkzeug verspricht ein ultrapräzises Ätzen von dielektrischen und Metallfilmen auf jeder Halbleiterscheibe. Es ist in der Lage, bis zu 0,375 μ m dicke Folien mit einer zuverlässigen Profilgenauigkeit von ± 0,2 μ m zu ätzen. TEL INDY B L hat eine hohe Verarbeitungsgenauigkeit und effizienten Betrieb für eine große Anzahl von Rezepten. Der Ätzprozess ist meist interaktiv und wird von der Prozesssteuerungssoftware geleitet. Seine Kammer ist innen so ausgelegt, dass sie den Druck für konsistente Druckätzung scharf und gleichmäßig reduziert. Zusätzlich enthält die Kammer einen gaszirkulierten Wärmetauscher, um stabile Temperaturen zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON INDY B-L verfügt über Wafertemperatur-Gleichmäßigkeit von weniger als ± 2 ° C und verfügt auch über zwei Beobachtungsanschlüsse für die In-situ-Überwachung von Ätzergebnissen. Die Waferdrehzahl kann zwischen 500 U/min und 5.000 U/min liegen, um eine genaue Ätzung zu gewährleisten. Die frontseitige Quelle enthält einen Verstärker, der eine Hochfrequenzspannung erzeugt, um eine Variation der Ätzchemie zur präzisen Ätzsteuerung zu induzieren. Die Quelle verfügt auch über eine automatische Tune-Funktion, mit der sie die Quellparameter basierend auf dem zu ätzenden Material und den Ätzbedingungen automatisch optimieren kann. Zu den besonderen Sicherheitsmerkmalen von Tel Indy-B-L gehören ein Notentlüftungsventil, integrierte Tropfwannen sowie Säuresammel- und Neutralisationssysteme. Insgesamt bietet es einen äußerst zuverlässigen, kosteneffizienten und genauen Ätzprozess für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.