Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293825595 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen entwickelt wurde. Es ist ein Ätzer/Ascher, der sowohl für Labor- als auch für Produktionsanwendungen verwendet werden kann. Die Vorrichtung besteht aus einem Regler, einem Gasschrank, einer Ätzkammer und einer Klemme. Der Gasschrank enthält die Gase, die bei den Ätz- und Ascheprozessen verwendet werden, und ist über die Klemme mit der Kammer verbunden. Die Steuerung beherbergt die digitalen und analogen Ein-/Ausgangsschaltungen und enthält Parameter, die für den Ätz- und Ascheprozess einstellbar sind. Die Parameter der Temperatur, des Drucks und anderer Bedingungen können so eingestellt werden, dass für eine bestimmte Anwendung eine präzise Radierung oder Asche erzeugt wird. In der Ätzkammer kann sowohl ein Naßätz- als auch ein Aschevorgang verwendet werden. Für ein Nassätzen werden Naßchemikalien verwendet, um auf der Oberfläche eines Metall- oder Halbleitermaterials eine Ätzung zu erzeugen. Bei den im Naßätzverfahren eingesetzten Chemikalien handelt es sich typischerweise um Halogenwasserstoffe, wie Salzsäure und Flußsäure. Bei der Asche verwendet ein Trockenätzprozess physikalische und elektrische Erosion, um die Oberfläche eines Materials zu ätzen. Das trockene Ätzverfahren verwendet ein Fluorkohlenwasserstoffgas wie CF2 und ein sauerstoffreiches Plasma. TEL INDY B L hat mehrere Funktionalitäten. Die Vorrichtung kann verwendet werden, um einzelne oder mehrere Schichten auf einem einzigen Substrat zu ätzen. Es hat auch die Fähigkeit, Ätzvorgänge mit unterschiedlichen Impulsbedingungen durchzuführen. Das Gerät verfügt über eingebaute Vorrichtungen und bewegliche Tragrahmen zum mehrschichtigen Ätzen. Es enthält auch ein kontinuierliches Überwachungssystem für Ätztiefe und Endpunkt. Darüber hinaus stehen mehrere Ätzkammergrößen zur Verfügung, die eine großflächige Bearbeitung und flexible Ätzraten ermöglichen. Schließlich hat TOKYO ELECTRON INDY B-L zahlreiche Sicherheitsmerkmale. Dazu gehören mehrere Ebenen der Lockout-Steuerung, automatisches Löschen von Ätzmitteln vor und nach dem Prozess und ein externes Interlock-System. All diese Eigenschaften machen TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L zu einem zuverlässigen und sicheren Ätz- und Aschesystem.