Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9137329 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9137329
Wafergröße: 12"
Systems, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein Ätzer oder Ascher, der speziell für die Herstellung von Wafern für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es wird verwendet, um ein Oxid oder anderes Material auf einen Wafer zu übertragen, so dass der Benutzer ein Muster eines solchen Materials genau definieren kann. TEL INDY B L ist in der Lage, bis zu acht 8 „Wafer oder bis zu sechzehn 4“ Wafer in einer automatisierten Umgebung zu verarbeiten. Der Ätzprozess von TOKYO ELECTRON INDY B-L verwendet DRIE (Deep Reactive Ion Etching), eine Technik zur Übertragung von Oxid auf den Wafer mit hohen Geschwindigkeiten. Diese Ätzmethode bietet ein breites Spektrum an Prozessflexibilität und Präzisionssteuerung, um den Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses gerecht zu werden. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L ist mit einer fortschrittlichen automatischen Prozessorfunktion zur Spezifizierung von Oxidabscheidungs- und Ätzbedingungen ausgestattet. Dies ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Prozesssteuerung und Anpassung an die Bedürfnisse des Benutzers. Indy-B-L besteht aus einem Wafertransportmechanismus, Waferhalter, Hochfrequenz-Mikrowellengenerator, Sicherheitsverriegelung, Gasversorgungsausrüstung und anderen Komponenten. Es ist für hohe Leistung ausgelegt und enthält Funktionen wie eine Vakuumkammer zur Minimierung der Sauerstoffbelastung und einen Hochfrequenzgenerator zur Anregung von Sauerstoffmolekülen und zur Erzeugung einer Reaktion mit anderen Chemikalien. INDY B L hat auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen entwickelt, um den Bediener zu schützen, sowie andere Personen in der Umgebung. Zu diesen Sicherheitsmerkmalen gehören ein Sauerstoffsensor und ein Verriegelungssystem, die verhindern, dass die Einheit in Bereichen arbeitet, in denen Sauerstoffgehalte eine vorgegebene Schwelle überschreiten. Neben seinen Ätzfähigkeiten hat TEL INDY B-L auch ein attraktives Design. Die Ätzkammer weist einen kleinen Formfaktor auf und besteht aus einer Vielzahl von Materialien, die zur signifikanten Reduzierung von Geräuschen und zur Minimierung von Vibrationen ausgelegt sind. Die gesamte Einheit ist für eine einfache Installation ausgelegt und ist mit TEL Service Net LN2 Maschine kompatibel. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L bietet eine zuverlässige Ätzlösung für eine Reihe bestehender und aufkommender Anwendungen und ist damit eine vielseitige Wahl für jeden Halbleiterherstellungsprozess. Die fortschrittlichen Eigenschaften, Sicherheitsmaßnahmen und das attraktive Design machen dies zu einem idealen Ätzwerkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen.
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