Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9140988 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9140988
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Furnaces, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L ist ein vollautomatischer Ätzer und Ascher, der mit modernster Technologie präzise Halbleiterverarbeitungsergebnisse liefert. Im Gegensatz zu herkömmlichen manuellen Ätzmethoden verfügt TEL INDY B L über fortschrittliche Steuerungssysteme, die eine präzise Anpassung der Temperatur, der chemischen Konzentration, des Luftstroms und anderer Parameter ermöglichen, um ein sauberes und qualitativ hochwertiges Ätzen zu gewährleisten. Mit seinen effizienten Reinigungs- und Ätzfunktionen für Wafer eignet sich TOKYO ELECTRON INDY B-L perfekt für die Verarbeitung der fortschrittlichsten Halbleitersubstrate für eine Vielzahl von Anwendungen. TEL Indy-B-L verfügt über einen bordeigenen Prozessschrank, der für den Ätzprozess verwendet wird. Dieser Schrank ist mit einem Gaskoordinationsknopf ausgestattet, um den exakten Druck, die Temperatur, die Konzentration und die Durchflussraten einzustellen, die erforderlich sind, um saubere und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Die integrierte Vakuumpumpe ermöglicht eine effiziente Evakuierung der gasförmigen Chemikalien aus der Ätzprozesskammer. Mit einem Laserinterferometer wird die Dicke des Wafers gemessen und die Gasparameter entsprechend angepasst, was eine maximale Oberflächengenauigkeit ermöglicht. Um präzise Ätzergebnisse zu gewährleisten, ist TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L mit zwei Heizelementen ausgestattet, die während des gesamten Ätzprozesses für eine vollständig gleichmäßige und gleichmäßige Erwärmung sorgen. Für maximale Gleichmäßigkeit weist das obere Heizelement genau definierte Luftspalte auf, die dazu beitragen, die gewünschte Temperatur auch über die gesamte Waferoberfläche zu halten. INDY B L verfügt zudem über eine intelligente Wärmeüberwachungseinrichtung, die Heizungsänderungen detailliert überwacht. Um eine sichere Umgebung zu erhalten, umfasst TEL INDY B-L ein Hochleistungs-Trockengasreinigungssystem, das luftgetragene Verunreinigungen effizient entfernt und ein sicheres und sauberes Ätzen ermöglicht. Eine doppelt abgedichtete Tür verhindert das Austreten von schädlichen gasförmigen Chemikalien und sorgt für maximale Sicherheit und Sauberkeit. Darüber hinaus erkennt eine Abgassicherungseinrichtung jeden schnellen Druckanstieg und bietet sofortige Entlastung, um das Gerät vor potenziellen Schäden zu schützen. INDY B-L läuft von einer hochleistungsfähigen, mehrschichtigen CPU-Rechenmaschine mit leistungsstarken numerischen Steuerungstool und Datenanalyse-Funktionen. Es verknüpft sich mit einem benutzerfreundlichen Display, das eine komfortable Parameterbearbeitung, Live-Überwachung und volle Kontrolle über alle Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Das Asset ist auch mit einem ausfallsicheren automatischen Abschaltprotokoll ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Computer automatisch heruntergefahren wird, wenn Unregelmäßigkeiten festgestellt werden. TOKYO ELECTRON INDY B L ist mit seiner Kombination aus anspruchsvollen Steuerungssystemen und fortschrittlichen Reinigungstechnologien eine erstklassige Wahl für Anwender, die Präzision und Zuverlässigkeit bei Halbleiterätz- und -veraschungsprozessen suchen.
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